ဆိုလာပြားအတွက် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဂရပ်ဖိုက် PECVD လှေ
ဖော်ပြချက်
၁)။ ရေရှည်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း "ရောင်စုံမှန်ဘီလူးများ" မပါဘဲသေချာစေရန် "ရောင်စုံမှန်ဘီလူးများ" နည်းပညာကိုဖယ်ရှားပစ်ရန်လက်ခံခဲ့သည်။
၂)။ SGL မှ တင်သွင်းထားသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းပါးပြီး ကြံ့ခိုင်မှုမြင့်မားသည်။
၃)။ ခိုင်ခံ့သော သံချေးတက်ခြင်း ခံနိုင်ရည်ရှိသော စွမ်းဆောင်မှု နှင့် ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံ ကြွေထည် တပ်ဆင်မှုအတွက် 99.9% ကြွေထည်ကို အသုံးပြုခြင်း။
၄)။ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီ၏ တိကျမှုကိုသေချာစေရန် တိကျသောလုပ်ဆောင်မှုကိရိယာများကို အသုံးပြုခြင်း။
သတ်မှတ်ချက်
ကုသိုလ်ကံ | ရိုက်ပါ။ | နံပါတ် wafer သယ်ဆောင်သူ |
PECVD Graphite သင်္ဘော— 156 စီးရီး | ၁၅၆-၁၃ ဖိုက်တာလှေ | ၁၄၄ |
156-19 ဖိုက်တာလှေ | ၂၁၆ | |
156-21 ဖိုက်တာလှေ | ၂၄၀ | |
၁၅၆-၂၃ ဖိုက်တာလှေ | ၃၀၈ | |
PECVD Graphite သင်္ဘော— 125 စီးရီး | 125-15 ဖိုက်တာလှေ | ၁၉၆ |
125-19 ဖိုက်တာလှေ | ၂၅၂ | |
125-21 ဖိုက်တာလှေ | ၂၈၀ |
နောက်ထပ်ထုတ်ကုန်များ