ဆိုလာပြားအတွက် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဂရပ်ဖိုက် PECVD လှေ
ဖော်ပြချက်
၁)။ ရေရှည်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း "ရောင်စုံမှန်ဘီလူးများ" မပါဘဲသေချာစေရန် "ရောင်စုံမှန်ဘီလူးများ" နည်းပညာကိုဖယ်ရှားပစ်ရန်လက်ခံခဲ့သည်။
၂)။ SGL မှ တင်သွင်းထားသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းပါးပြီး ကြံ့ခိုင်မှုမြင့်မားသည်။
၃)။ ခိုင်ခံ့သော သံချေးတက်ခြင်း ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ပွတ်တိုက်မှုဒဏ်ခံနိုင်သော ကြွေထည်ပစ္စည်းများအတွက် 99.9% ကြွေထည်ကို အသုံးပြုထားသည်။
၄)။ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီ၏ တိကျမှုကိုသေချာစေရန် တိကျသောလုပ်ဆောင်မှုကိရိယာများကို အသုံးပြုခြင်း။
သတ်မှတ်ချက်
ကုသိုလ်ကံ | ရိုက်ပါ။ | နံပါတ် wafer သယ်ဆောင်သူ |
PECVD Graphite သင်္ဘော— 156 စီးရီး | ၁၅၆-၁၃ ဖိုက်တာလှေ | ၁၄၄ |
156-19 ဖိုက်တာလှေ | ၂၁၆ | |
156-21 ဖိုက်တာလှေ | ၂၄၀ | |
၁၅၆-၂၃ ဖိုက်တာလှေ | ၃၀၈ | |
PECVD Graphite သင်္ဘော— 125 စီးရီး | 125-15 ဖိုက်တာလှေ | ၁၉၆ |
125-19 ဖိုက်တာလှေ | ၂၅၂ | |
125-21 ဖိုက်တာလှေ | ၂၈၀ |
နောက်ထပ်ထုတ်ကုန်များ