Kisi SiC tal-grafita MOCVD Wafer carriers, Susceptors tal-Graphite għal SiC Epitaxy,
Il-karbonju jipprovdi susceptors, Susceptors tal-Graphite, Trejs tal-Graphite, SiC Epitaxy, Wafer Susceptors,

Il-kisi CVD-SiC għandu l-karatteristiċi ta 'struttura uniformi, materjal kompatt, reżistenza għat-temperatura għolja, reżistenza għall-ossidazzjoni, purità għolja, reżistenza għall-aċidu u alkali u reaġent organiku, bi proprjetajiet fiżiċi u kimiċi stabbli.

Meta mqabbel ma 'materjali tal-grafita ta' purità għolja, il-grafita jibda jossida f'400C, li jikkawża telf ta 'trab minħabba l-ossidazzjoni, li jirriżulta f'tniġġis ambjentali għal apparati periferali u kmamar tal-vakwu, u jżid l-impuritajiet ta' ambjent ta 'purità għolja.

Madankollu, il-kisi SiC jista 'jżomm stabbiltà fiżika u kimika f'1600 grad, Huwa użat ħafna fl-industrija moderna, speċjalment fl-industrija tas-semikondutturi.

Il-kumpanija tagħna tipprovdi servizzi ta 'proċess ta' kisi tas-SiC permezz tal-metodu CVD fuq il-wiċċ tal-grafita, ċeramika u materjali oħra, sabiex gassijiet speċjali li fihom karbonju u silikon jirreaġixxu f'temperatura għolja biex jiksbu molekuli SiC ta 'purità għolja, molekuli depożitati fuq il-wiċċ tal-materjali miksija, li jiffurmaw saff protettiv SIC. Is-SIC iffurmat huwa marbut sew mal-bażi tal-grafita, u jagħti lill-bażi tal-grafita proprjetajiet speċjali, u b'hekk il-wiċċ tal-grafita jkun kompatt, ħieles mill-porosità, reżistenza għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni u reżistenza għall-ossidazzjoni.

Applikazzjoni:

Karatteristiċi ewlenin:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja:

ir-reżistenza għall-ossidazzjoni għadha tajba ħafna meta t-temperatura tkun għolja daqs 1700 C.

2. Purità għolja: magħmula minn depożizzjoni ta 'fwar kimiku taħt kundizzjoni ta' klorinazzjoni f'temperatura għolja.

3. Reżistenza għall-erożjoni: ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.

4. Reżistenza għall-korrużjoni: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.

Speċifikazzjonijiet ewlenin tal-kisi CVD-SIC:

Kapaċità ta' Provvista:

10000 Biċċa/Biċċiet kull Xahar
Ippakkjar u Kunsinna:
Ippakkjar: Ippakkjar Standard u Qawwi
Borża Poly + Kaxxa + Kartuna + Pallet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Ħin taċ-Ċomb: