Carrier / Susceptor tal-Graphite Miksijin SiC

Deskrizzjoni qasira:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

 


Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Suscetpor miksi b'SiC huwa komponent ewlieni użat f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi. Aħna nużaw it-teknoloġija privattiva tagħna biex nagħmlu s-suscetpor miksi b'SiC b'purità estremament għolja, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta 'servizz eċċellenti, kif ukoll reżistenza kimika għolja u proprjetajiet ta' stabbiltà termali.

Karatteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja u uniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

trasportatur2 trasportatur4

trasportatur1 trasportatur3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi

性质 / Proprjetà

典型数值 / Valur Tipiku

晶体结构 / Struttura tal-kristall

Fażi FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3.21 g/ċm³

硬度 / Ebusija

2500 维氏硬度(tagħbija ta' 500g)

晶粒大小 / Daqs tal-qamħ

2 ~ 10μm

纯度 / Purità Kimika

99.99995%

热容 / Kapaċità tas-Sħana

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni

2700℃

抗弯强度 / Qawwa tal-flessjoni

415 MPa RT 4-punti

杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ

430 Gpa 4pt liwja, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Bi pjaċir iżżur il-fabbrika tagħna, ejja jkollna aktar diskussjoni!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Chat Online WhatsApp!