Carrier / Susceptor tal-Graphite Miksijin SiC

Trasportatur tal-Graphite Miksijin SiC / Susceptor Dehru Immaġni

Deskrizzjoni qasira:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor huwa prodott ta 'prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż.Għandu reżistenza tas-sħana super tajba u uniformità termali, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li jagħmilha s-soluzzjoni perfetta għall-applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfer.

Ibgħat email lilna Niżżel bħala PDF

Dettall tal-Prodott

Tags tal-Prodott

Suscetpor miksi b'SiC huwa komponent ewlieni użat f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi.Aħna nużaw it-teknoloġija privattiva tagħna biex nagħmlu s-suscetpor miksi b'SiC b'purità estremament għolja, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta 'servizz eċċellenti, kif ukoll reżistenza kimika għolja u proprjetajiet ta' stabbiltà termali.

Karatteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja u uniformità termali
3. Reżistenza għall-korrużjoni eċċellenti: aċidu, alkali, melħ u reaġenti organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta 'servizz itwal u aktar fit-tul

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi ta 'CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-kristall	Fażi β tal-FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-qamħ	2 ~ 10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Qawwa tal-Flessura	415 MPa RT 4-punti
杨氏模量 / Modulus taż-żgħażagħ	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1