Kif muri hawn fuq, huwa tipiku
L-ewwel nofs:
Element tat-tisħin (coil tat-tisħin): li jinsab madwar it-tubu tal-forn, ġeneralment magħmul minn wajers ta 'reżistenza, użat biex issaħħan in-naħa ta' ġewwa tat-tubu tal-forn.
Tubu tal-kwarz: Il-qalba ta 'forn ta' ossidazzjoni sħun, magħmul minn kwarz ta 'purità għolja li jista' jiflaħ temperaturi għoljin u jibqa 'kimikament inerti.
Għalf tal-gass: Jinsabu fin-naħa ta 'fuq jew fil-ġenb tat-tubu tal-forn, jintuża biex jittrasporta l-ossiġnu jew gassijiet oħra għal ġewwa tat-tubu tal-forn.
Flanġ SS: komponenti li jgħaqqdu tubi tal-kwarz u linji tal-gass, li jiżguraw l-issikkar u l-istabbiltà tal-konnessjoni.
Linji tal-Għalf tal-Gass: Pajpijiet li jgħaqqdu l-MFC mal-port tal-provvista tal-gass għat-trażmissjoni tal-gass.
MFC (Kontrollur tal-Fluss tal-Massa): Apparat li jikkontrolla l-fluss tal-gass ġewwa tubu tal-kwarz biex jirregola b'mod preċiż l-ammont ta 'gass meħtieġ.
Vent: Użat biex jivvent il-gass tal-egżost minn ġewwa t-tubu tal-forn għal barra tat-tagħmir.
Parti t'isfel
Wejfers tas-silikon f'Detentur: Il-wejfers tas-silikon jinsabu f'Detentur speċjali biex jiżguraw sħana uniformi waqt l-ossidazzjoni.
Detentur tal-wejfer: Użat biex iżomm il-wejfer tas-silikon u jiżgura li l-wejfer tas-silikon jibqa 'stabbli matul il-proċess.
Pedestall: Struttura li żżomm Holder tal-wejfer tas-silikon, ġeneralment magħmul minn materjal reżistenti għal temperatura għolja.
Elevatur: Użat biex jerfgħu detenturi tal-wejfers ġewwa u barra minn tubi tal-kwarz għal tagħbija u ħatt awtomatiku ta 'wejfers tas-silikon.
Wafer Trasferiment Robot: li jinsab fuq in-naħa tal-apparat tat-tubu tal-forn, huwa użat biex tneħħi awtomatikament il-wejfer tas-silikon mill-kaxxa u poġġiha fit-tubu tal-forn, jew neħħiha wara l-ipproċessar.
Carousel tal-Ħażna tal-Cassette: Il-karużell tal-ħażna tal-cassettes jintuża biex jaħżen kaxxa li jkun fiha wejfers tas-silikon u jista 'jinbidel għall-aċċess tar-robot.
Wafer Cassette: il-wafer cassette jintuża biex jaħżen u jittrasferixxi l-wejfers tas-silikon li għandhom jiġu pproċessati.
Ħin tal-post: Apr-22-2024