L-istruttura interna tat-tagħmir tat-tubu tal-forn hija spjegata fid-dettall

Kif muri hawn fuq, huwa tipiku

L-ewwel nofs:

▪ Element tat-tisħin (coil tat-tisħin):

li jinsab madwar it-tubu tal-forn, ġeneralment magħmul minn wajers ta 'reżistenza, użat biex issaħħan in-naħa ta' ġewwa tat-tubu tal-forn.

▪ Tubu tal-kwarz:

Il-qalba ta 'forn ta' ossidazzjoni sħun, magħmul minn kwarz ta 'purità għolja li jista' jiflaħ temperaturi għoljin u jibqa 'kimikament inerti.

▪ Għalf tal-gass:

Jinsabu fil-parti ta 'fuq jew fil-ġenb tat-tubu tal-forn, huwa użat biex jittrasporta l-ossiġnu jew gassijiet oħra għal ġewwa tat-tubu tal-forn.

▪ Flanġ SS:

komponenti li jgħaqqdu tubi tal-kwarz u linji tal-gass, li jiżguraw l-issikkar u l-istabbiltà tal-konnessjoni.

▪ Linji tal-Għalf tal-Gass:

Pajpijiet li jgħaqqdu l-MFC mal-port tal-provvista tal-gass għat-trażmissjoni tal-gass.

▪ MFC (Kontrollur tal-Fluss tal-Massa):

Apparat li jikkontrolla l-fluss tal-gass ġewwa tubu tal-kwarz biex jirregola b'mod preċiż l-ammont ta 'gass meħtieġ.

▪ Vent:

Użat biex jivvent il-gass tal-egżost minn ġewwa t-tubu tal-forn għal barra tat-tagħmir.

Parti t'isfel:

▪ Wafers tas-Silikon fil-Holder:

Il-wejfers tas-silikon huma miżmuma f'Detentur speċjali biex jiżguraw sħana uniformi waqt l-ossidazzjoni.

▪ Detentur tal-wejfer:

Użat biex iżżomm il-wejfer tas-silikon u jiżgura li l-wejfer tas-silikon jibqa 'stabbli matul il-proċess.

▪ Pedestall:

Struttura li żżomm Holder tal-wejfer tas-silikon, ġeneralment magħmul minn materjal reżistenti għal temperatura għolja.

▪ Lift:

Użat biex jerfgħu detenturi tal-wejfers ġewwa u barra minn tubi tal-kwarz għal tagħbija u ħatt awtomatiku ta 'wejfers tas-silikon.

▪ Robot tat-Trasferiment tal-Wejfer:

li jinsab fuq in-naħa tal-apparat tat-tubu tal-forn, huwa użat biex tneħħi awtomatikament il-wejfer tas-silikon mill-kaxxa u poġġiha fit-tubu tal-forn, jew neħħiha wara l-ipproċessar.

▪ Karużell tal-Ħażna tal-Cassettes:

Il-karużell tal-ħażna tal-cassettes jintuża biex taħżen kaxxa li fiha wejfers tas-silikon u tista 'tiddawwar għall-aċċess tar-robot.

▪ Wafer Cassette:

Il-wafer cassette jintuża biex jaħżen u jittrasferixxi l-wejfers tas-silikon li għandhom jiġu pproċessati.