I. Esplorazzjoni tal-parametri tal-proċess 1. Sistema TaCl5-C3H6-H2-Ar 2. Temperatura ta 'depożizzjoni: Skont il-formula termodinamika, huwa kkalkulat li meta t-temperatura tkun akbar minn 1273K, l-enerġija ħielsa Gibbs tar-reazzjoni hija baxxa ħafna u l- reazzjoni hija relattivament kompluta. Ir-rea...
Aqra aktar