Karbur tas-silikon (SiC) huwa materjal semikonduttur kompost ġdid. Il-karbur tas-silikon għandu qasma kbira tal-medda (madwar 3 darbiet silikon), qawwa kritika għolja tal-kamp (madwar 10 darbiet silikon), konduttività termali għolja (madwar 3 darbiet silikon). Huwa materjal semikonduttur importanti tal-ġenerazzjoni li jmiss. Il-kisi tas-SiC jintuża ħafna fl-industrija tas-semikondutturi u l-fotovoltajċi solari. B'mod partikolari, is-susċetturi użati fit-tkabbir epitassjali tal-LEDs u l-epitassija tal-kristall wieħed Si jeħtieġu l-użu ta 'kisi SiC. Minħabba t-tendenza qawwija 'l fuq tal-LEDs fl-industrija tad-dawl u l-wiri, u l-iżvilupp qawwi tal-industrija tas-semikondutturi,Prodott tal-kisi tas-SiCil-prospetti huma tajbin ħafna.
QASAM TA' APPLIKAZZJONI
Purità, Struttura SEM, analiżi tal-ħxuna ta 'Kisi SiC
Il-purità tal-kisi SiC fuq il-grafita bl-użu ta 'CVD hija għolja daqs 99.9995%. L-istruttura tagħha hija fcc. Il-films SiC miksija bil-grafita hija (111) orjentata kif muri fid-dejta XRD (Fig.1) li tindika l-kwalità kristallina għolja tagħha. Il-ħxuna tal-film SiC hija uniformi ħafna kif muri fil-Fig. 2.
Fig. 2: uniformi tal-ħxuna tal-films SiC SEM u XRD tal-film beta-SiC fuq il-grafita
Dejta SEM ta 'film irqiq CVD SiC, id-daqs tal-kristall huwa 2 ~ 1 Opm
L-istruttura tal-kristall tal-film CVD SiC hija struttura kubi ċċentrata fuq il-wiċċ, u l-orjentazzjoni tat-tkabbir tal-film hija qrib il-100%
Karbur tas-silikon (SiC) miksibażi hija l-aħjar bażi għas-silikon kristall wieħed u GaN epitaxy, li huwa l-komponent ewlieni tal-forn epitaxy. Il-bażi hija aċċessorju ewlieni tal-produzzjoni għas-silikon monokristallin għal ċirkwiti integrati kbar. Għandu purità għolja, reżistenza għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, issikkar tajjeb tal-arja u karatteristiċi materjali eċċellenti oħra.
Applikazzjoni u użu tal-prodott
Kisi tal-bażi tal-grafita għal tkabbir epitassjali tas-silikon ta 'kristall wieħedSuitable għall-magni Aixtron, ħxuna eċċCoating: 90 ~ 150umThe dijametru tal-crater tal-wejfer huwa 55mm.
Ħin tal-post: Mar-14-2022