Ħiter tas-sottostrat MOCVD, Elementi tat-Tisħin Għal MOCVD,
heater tal-grafita, heater, Ħiter tas-sottostrat MOCVD,
Heater tal-Graphite miksi b'SIC ta 'ħajja twila għal MOCVD K465i
Il-heater tal-grafitakomponenti huma wżati fil-forn ta 'temperatura għolja b'temperatura laħqet 2200 grad f'ambjent vakwu u 3000 grad fl-ambjent tal-gass deossidizzat u mdaħħal.
Karatteristiċi ewlenin tal-grafitaheater:
1. uniformità ta ' l-istruttura tat-tisħin.
2. konduttività elettrika tajba u tagħbija elettrika għolja.
3. reżistenza għall-korrużjoni.
4. inossidabbiltà.
5. purità kimika għolja.
6. saħħa mekkanika għolja.
Il-vantaġġ huwa effiċjenti fl-enerġija, valur għoli u manutenzjoni baxxa.
Nistgħu nipproduċu griġjol tal-grafita kontra l-ossidazzjoni u ħajja twila, moffa tal-grafita u l-partijiet kollha tal-grafitaheater.
Parametri ewlenin tal-heater tal-grafita:
Speċifikazzjoni Teknika | VET-M3 |
Densità tal-massa (g/cm3) | ≥1.85 |
Kontenut tal-Irmied (PPM) | ≤500 |
Ebusija tax-Xatt | ≥45 |
Reżistenza Speċifika (μ.Ω.m) | ≤12 |
Qawwa tal-Flessura (Mpa) | ≥40 |
Qawwa Kompressiva (Mpa) | ≥70 |
Max. Daqs tal-qamħ (μm) | ≤43 |
Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali Mm/°C | ≤4.4 * 10-6 |
Ħiter tal-grafita għall-forn elettriku għandu proprjetajiet ta 'reżistenza tas-sħana, reżistenza għall-ossidazzjoni, konduttività elettrika tajba u intensità mekkanika aħjar. Nistgħu magni diversi tipi ta 'heater tal-grafita skond id-disinji tal-klijenti.