Susceptor bersalut tantalum karbida untuk wafer

Penerangan Ringkas:

Semicera ialah peneraju dalam teknologi perlindungan bahan suhu tinggi dan kami berbangga memperkenalkan produk salutan CVD Tantalum Carbide (TaC) untuk menyediakan perlindungan suhu tinggi yang boleh dipercayai untuk substrat grafit anda.Grafit adalah bahan tahan suhu tinggi yang sangat baik, tetapi ia terdedah kepada pengoksidaan pada suhu tinggi, yang tidak dapat dielakkan sepenuhnya walaupun dalam relau vakum.Salutan Tantalum Carbide (TaC) CVD kami boleh menghalang pengoksidaan substrat grafit dengan berkesan sambil mengekalkan prestasi suhu tinggi yang sangat baik.TaC juga merupakan bahan lengai yang boleh menahan tindak balas dengan gas seperti argon dan hidrogen.Rujuk Semicera hari ini untuk mengetahui lebih lanjut tentang susceptors EPI bersalut Tantalum Carbide CVD kami untuk memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan aplikasi suhu tinggi anda.

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Salutan TaC adalah sejenis salutan tantalum karbida (TaC) yang disediakan oleh teknologi pemendapan wap fizikal, ia mempunyai ciri-ciri berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan salutan TaC adalah tinggi, biasanya boleh mencapai 2500-3000HV, adalah salutan keras yang sangat baik.

2. Rintangan haus: Salutan TaC sangat tahan haus, yang boleh mengurangkan haus dan kerosakan bahagian mekanikal dengan berkesan semasa penggunaan.

3. Rintangan suhu tinggi yang baik: Salutan TaC juga boleh mengekalkan prestasi cemerlangnya di bawah persekitaran suhu tinggi.

4. Kestabilan kimia yang baik: Salutan TaC mempunyai kestabilan kimia yang baik dan boleh menahan banyak tindak balas kimia, seperti asid dan bes.

Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Sifat fizikal bagi TaC salutan
密度/ Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Pemancaran khusus	0.3
热膨胀系数 / Pekali pengembangan terma	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Rintangan	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Kestabilan terma	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Perubahan saiz grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Ketebalan salutan	≥20um nilai biasa (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ialah sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang memfokuskan pada pengeluaran dan penjualan bahan termaju mewah, bahan dan teknologi yang meliputi grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan dan sebagainya.Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baru, metalurgi, dan lain-lain.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!