Susceptor Bersalut TaC untuk Peralatan Epitaksi

Penerangan ringkas:

VET menyediakan salutan tantalum karbida (TaC) khusus untuk pelbagai komponen dan pembawa. Proses salutan terkemuka VET membolehkan salutan tantalum karbida (TaC) mencapai ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualiti produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI, dan memanjangkan hayat komponen reaktor utama. Penggunaan salutan TaC tantalum karbida adalah untuk menyelesaikan masalah kelebihan dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, dan VET telah memecahkan teknologi salutan tantalum karbida (CVD), mencapai tahap lanjutan antarabangsa.


Butiran Produk

Tag Produk

bersalut TaCsubstrat ialah filem nipis yang diperbuat daripadatantalum karbidabahan, yang digunakan pada permukaan substrat peralatan epitaxial.Salutan TaCmempunyai banyak sifat yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang ideal.

Salutan TaC adalah sejenis salutan tantalum karbida (TaC) yang disediakan oleh teknologi pemendapan wap fizikal, ia mempunyai ciri-ciri berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan salutan TaC adalah tinggi, biasanya boleh mencapai 2500-3000HV, adalah salutan keras yang sangat baik.

2. Rintangan haus: Salutan TaC sangat tahan haus, yang boleh mengurangkan haus dan kerosakan bahagian mekanikal dengan berkesan semasa penggunaan.

3. Rintangan suhu tinggi yang baik: Salutan TaC juga boleh mengekalkan prestasi cemerlangnya di bawah persekitaran suhu tinggi.

4. Kestabilan kimia yang baik: Salutan TaC mempunyai kestabilan kimia yang baik dan boleh menahan banyak tindak balas kimia, seperti asid dan bes.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Sifat fizikal bagi TaC salutan

密度/ Ketumpatan

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Pemancaran khusus

0.3

热膨胀系数 / Pekali pengembangan terma

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Kekerasan (HK)

2000 HK

电阻 / Rintangan

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Kestabilan terma

<2500℃

石墨尺寸变化 / Perubahan saiz grafit

-10~-20um

涂层厚度 / Ketebalan salutan

≥20um nilai biasa (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ialah sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang memfokuskan pada pengeluaran dan penjualan bahan termaju mewah, bahan dan teknologi yang meliputi grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan dan sebagainya. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baru, metalurgi, dan lain-lain.

Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Sangat mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari berbincang lebih lanjut!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Sembang Dalam Talian WhatsApp !