Bot Wafer Grafit untuk Pemendapan

Bot Wafer Grafit untuk Imej Pilihan Pemendapan

Penerangan ringkas:

Bot wafer grafit VET Energy ialah bahan habis pakai berkualiti tinggi yang disesuaikan untuk proses pemendapan dalam industri semikonduktor, fotovoltaik dan lain-lain. Diperbuat daripada bahan grafit berketulenan tinggi, berketumpatan tinggi, produk ini mempunyai rintangan suhu tinggi yang sangat baik, rintangan kakisan, kestabilan dimensi dan ciri-ciri lain, dan boleh menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses pemendapan untuk memastikan keseragaman dan kerataan pemendapan filem nipis .

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Bot grafit PECVD dari VET Energy dihasilkan dengan grafit isostatik ketulenan tinggi, menampilkan keliangan di bawah 15% dan kekasaran permukaan Ra≤1.6μm. Kestabilan dimensi yang unggul dan kekonduksian terma memastikan pemendapan filem seragam dan kecekapan sel dipertingkatkan.

Bahan grafit dari SGL:

Parameter biasa: R6510
Indeks	Standard ujian	Nilai	Unit
Saiz bijian purata	ISO 13320	10	μm
Ketumpatan pukal	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Keliangan terbuka	DIN66133	10	%
Saiz pori sederhana	DIN66133	1.8	μm
Kebolehtelapan	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Kerintangan elektrik tertentu	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan mampatan	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pengembangan terma (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Kekonduksian terma (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ia direka khusus untuk pembuatan sel suria berkecekapan tinggi, menyokong pemprosesan wafer bersaiz besar G12. Reka bentuk pembawa yang dioptimumkan dengan ketara meningkatkan daya pengeluaran, membolehkan kadar hasil yang lebih tinggi dan kos pengeluaran yang lebih rendah.

item	taip	Pembawa wafer nombor
Bot Grephite PEVCD - Siri 156	156-13 bot grephite	144
	156-19 bot grephite	216
	156-21 bot grephite	240
	156-23 bot grafit	308
Bot Grephite PEVCD - Siri 125	125-15 bot grephite	196
	125-19 bot grephite	252
	125-21 bot gripit	280