Alat yang dikendalikan dengan baik, krew keuntungan pakar, dan produk dan perkhidmatan selepas jualan yang lebih baik; Kami juga merupakan pasangan dan anak-anak utama yang bersatu, setiap orang berpegang teguh kepada syarikat mendapat manfaat "penyatuan, dedikasi, toleransi" untuk Kayuh Silikon Karbida RBSIC/SISIC Cantilever Berkualiti Baik Digunakan dalam Industri Fotovoltaik Suria, Kami amat mengalu-alukan kedua-dua asing dan domestik rakan perusahaan perniagaan, dan berharap dapat beroperasi dengan anda dalam jangka masa yang dekat!
Alat yang dikendalikan dengan baik, krew keuntungan pakar, dan produk dan perkhidmatan selepas jualan yang lebih baik; Kami juga merupakan pasangan dan anak-anak utama yang bersatu, setiap orang berpegang teguh pada syarikat mendapat manfaat "penyatuan, dedikasi, toleransi" untukChina Seramik refraktori dan tanur seramik, Untuk memenuhi keperluan pelanggan orang tertentu untuk setiap perkhidmatan yang lebih sempurna dan item kualiti yang stabil. Kami sangat mengalu-alukan pelanggan di seluruh dunia untuk melawat kami, dengan kerjasama pelbagai aspek kami, dan bersama-sama membangunkan pasaran baharu, mencipta masa depan yang cemerlang!
Salutan SiC/bersalut substrat Grafit untuk Semikonduktor Susceptor memegang dan memanaskan wafer semikonduktor semasa pemprosesan haba. Susceptor diperbuat daripada bahan yang menyerap tenaga melalui aruhan, pengaliran dan/atau sinaran dan memanaskan wafer. Rintangan kejutan haba, kekonduksian terma dan ketulenannya adalah penting untuk pemprosesan terma pantas (RTP). Grafit bersalut silikon karbida, silikon karbida (SiC), dan silikon (Si) biasanya digunakan untuk suseptor bergantung kepada persekitaran terma dan kimia tertentu. Bahan ultra-tulen PureSiC® CVD SiC dan ClearCarbon™ yang memberikan kestabilan haba yang unggul, rintangan kakisan dan ketahanan. Penerangan Produk
Salutan SiC substrat Grafit untuk aplikasi Semikonduktor menghasilkan bahagian dengan ketulenan unggul dan rintangan kepada atmosfera pengoksidaan.
CVD SiC atau CVI SiC digunakan pada Grafit bahagian reka bentuk ringkas atau kompleks. Salutan boleh digunakan dalam ketebalan yang berbeza-beza dan ke bahagian yang sangat besar.
Seramik teknikal ialah pilihan semula jadi untuk aplikasi pemprosesan haba semikonduktor termasuk RTP (Pemprosesan Terma Pantas), Epi (Epitaxial), resapan, pengoksidaan dan penyepuhlindapan. CoorsTek menyediakan komponen bahan termaju yang direka khusus untuk menahan kejutan haba dengan prestasi ketulenan tinggi, kukuh, boleh diulang untuk suhu tinggi
ciri-ciri:
· Rintangan Kejutan Terma Cemerlang
· Rintangan Kejutan Fizikal yang sangat baik
· Rintangan Kimia Cemerlang
· Ketulenan Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
· Boleh digunakan di bawah Atmosfera Pengoksidaan
permohonan：
Wafer perlu melalui beberapa langkah sebelum ia sedia untuk digunakan dalam peranti elektronik. Satu proses penting ialah epitaksi silikon, di mana wafer dibawa pada suseptor grafit. Sifat dan kualiti suseptor mempunyai kesan penting ke atas kualiti lapisan epitaxial wafer.
Sifat Biasa Bahan Grafit Asas:
| Ketumpatan Jelas: | 1.85 g/cm3 |
| Kerintangan Elektrik: | 11 μΩm |
| Kekuatan lentur: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| Kekerasan Pantai: | 58 |
| Abu: | <5ppm |
| Kekonduksian Terma: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Lebih banyak Produ
