Cincin Grafit Bersalut Silikon Karbida CVD

Penerangan ringkas:

Cincin grafit bersalut silikon karbida VET Energy ialah produk berprestasi tinggi yang direka untuk memberikan prestasi yang konsisten dan boleh dipercayai dalam tempoh yang panjang. Ia mempunyai rintangan haba yang sangat baik dan keseragaman haba, ketulenan tinggi, rintangan hakisan, menjadikannya penyelesaian yang sempurna untuk aplikasi pemprosesan wafer.

Hantar e-mel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Sifat Biasa Bahan Grafit Asas:

Ketumpatan Jelas:	1.85 g/cm3
Kerintangan Elektrik:	11 μΩm
Kekuatan lentur:	49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai:	58
Abu:	<5ppm
Kekonduksian Terma:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Kami membekalkan pelbagai susceptor dan komponen grafit untuk semua reaktor epitaksi semasa. Produk kami termasuk suseptor tong untuk unit LPE, suseptor lempeng untuk unit LPE, CSD dan Gemini, dan suseptor wafer tunggal untuk unit terpakai dan ASM.

Dengan menggabungkan perkongsian kukuh dengan OEM terkemuka, kepakaran bahan dan pengetahuan pembuatan, doktor haiwan menawarkan reka bentuk yang optimum untuk aplikasi anda.

Tenaga VET ialah yangpengeluar sebenar produk grafit dan silikon karbida tersuai dengan salutan CVD,boleh bekalkanpelbagaibahagian tersuai untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Opasukan teknikal anda berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesionaluntuk awak.

Fciri produk kami:

1. Rintangan pengoksidaan suhu tinggi sehingga 1700℃.
2. Ketulenan yang tinggi dankeseragaman haba
3. Rintangan kakisan yang sangat baik: asid, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, zarah halus.
5. Hayat perkhidmatan yang lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fizikal asas CVD SiCsalutan
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Biasa
晶体结构 / Struktur Kristal	Fasa FCC β多晶，主要为（111）取向
密度 / Ketumpatan	3.21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Saiz Bijirin	2~10μm
纯度 / Ketulenan Kimia	99.99995%
热容 / Kapasiti Haba	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 mata
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa selekoh 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalKekonduksian	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Pengembangan Terma(CTE)	4.5×10^-6K^-1