SiC लेपित ग्रेफाइट वाहक / ससेप्टर

संक्षिप्त वर्णन:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor हे उच्च-कार्यक्षमतेचे उत्पादन आहे जे विस्तारित कालावधीत सातत्यपूर्ण आणि विश्वासार्ह कार्यप्रदर्शन प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.यात उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोध आणि थर्मल एकरूपता, उच्च शुद्धता, इरोशन प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे ते वेफर प्रोसेसिंग ऍप्लिकेशन्ससाठी योग्य उपाय बनते.

 


उत्पादन तपशील

उत्पादन टॅग

SiC coated suscetpor हा एक प्रमुख घटक आहे जो विविध सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेमध्ये वापरला जातो.आम्ही आमच्या पेटंट तंत्रज्ञानाचा वापर अत्यंत उच्च शुद्धता, चांगली कोटिंग एकसमानता आणि उत्कृष्ट सेवा जीवन, तसेच उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता आणि थर्मल स्थिरता गुणधर्मांसह SiC कोटेड ससेटपोर बनवण्यासाठी करतो.

आमच्या उत्पादनांची वैशिष्ट्ये:

1. 1700℃ पर्यंत उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिकार.
2. उच्च शुद्धता आणि थर्मल एकरूपता
3. उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: आम्ल, अल्कली, मीठ आणि सेंद्रिय अभिकर्मक.
4. उच्च कडकपणा, कॉम्पॅक्ट पृष्ठभाग, सूक्ष्म कण.
5. दीर्घ सेवा जीवन आणि अधिक टिकाऊ

वाहक2 वाहक4

वाहक1 वाहक3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC चे मूलभूत भौतिक गुणधर्मकोटिंग

性质 / मालमत्ता

典型数值 / ठराविक मूल्य

晶体结构 / क्रिस्टल स्ट्रक्चर

FCC β फेज多晶, 主要为 (111)取向

密度 / घनता

3.21 g/cm³

硬度 / कडकपणा

2500 维氏硬度(500g लोड)

晶粒大小 / धान्य आकार

2~10μm

纯度 / रासायनिक शुद्धता

99.99995%

热容 / उष्णता क्षमता

640 J·kg-1· के-1

升华温度 / उदात्तीकरण तापमान

2700℃

抗弯强度 / फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ

415 MPa RT 4-पॉइंट

杨氏模量 / तरुणांचे मॉड्यूलस

430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃

导热系数 / थर्माlवाहकता

300W·m-1· के-1

热膨胀系数 / थर्मल विस्तार (CTE)

४.५×१०-6K-1

१

2

आमच्या कारखान्याला भेट देण्यासाठी तुमचे हार्दिक स्वागत आहे, चला पुढील चर्चा करूया!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • मागील:
  • पुढे:

  • व्हॉट्सॲप ऑनलाइन गप्पा!