वर दर्शविल्याप्रमाणे, एक वैशिष्ट्यपूर्ण आहे
पूर्वार्ध:
▪ हीटिंग एलिमेंट (हीटिंग कॉइल):
फर्नेस ट्यूबच्या आजूबाजूला स्थित, सहसा रेझिस्टन्स वायरपासून बनवलेले असते, जे फर्नेस ट्यूबच्या आतील भागात गरम करण्यासाठी वापरले जाते.
▪ क्वार्ट्ज ट्यूब:
गरम ऑक्सिडेशन भट्टीचा गाभा, उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्जचा बनलेला आहे जो उच्च तापमानाला तोंड देऊ शकतो आणि रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय राहू शकतो.
▪ गॅस फीड:
भट्टीच्या नळीच्या वरच्या बाजूला किंवा बाजूला स्थित, ते भट्टीच्या नळीच्या आतील भागात ऑक्सिजन किंवा इतर वायू वाहून नेण्यासाठी वापरले जाते.
▪ SS फ्लँज:
क्वार्ट्ज ट्यूब आणि गॅस लाईन्स जोडणारे घटक, कनेक्शनची घट्टपणा आणि स्थिरता सुनिश्चित करतात.
▪ गॅस फीड लाइन्स:
गॅस ट्रान्समिशनसाठी एमएफसीला गॅस सप्लाय पोर्टशी जोडणारे पाईप्स.
▪ MFC (मास फ्लो कंट्रोलर):
एक उपकरण जे क्वार्ट्ज ट्यूबच्या आत वायूच्या प्रवाहावर नियंत्रण ठेवते आणि आवश्यक गॅसचे प्रमाण अचूकपणे नियंत्रित करते.
▪ वेंट:
फर्नेस ट्यूबच्या आतून उपकरणाच्या बाहेरील बाजूस एक्झॉस्ट गॅस बाहेर टाकण्यासाठी वापरला जातो.
खालचा भाग:
▪ होल्डरमध्ये सिलिकॉन वेफर्स:
ऑक्सिडेशन दरम्यान एकसमान उष्णता सुनिश्चित करण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्स एका विशेष होल्डरमध्ये ठेवलेले असतात.
▪ वेफर होल्डर:
सिलिकॉन वेफर धरून ठेवण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर स्थिर राहील याची खात्री करण्यासाठी वापरले जाते.
▪ पादचारी:
सिलिकॉन वेफर होल्डर असलेली रचना, सामान्यतः उच्च तापमान प्रतिरोधक सामग्रीपासून बनलेली असते.
▪ लिफ्ट:
सिलिकॉन वेफर्सचे स्वयंचलित लोडिंग आणि अनलोडिंगसाठी क्वार्ट्ज ट्यूबमध्ये आणि बाहेर वेफर होल्डर उचलण्यासाठी वापरले जाते.
▪ वेफर ट्रान्सफर रोबोट:
फर्नेस ट्यूब उपकरणाच्या बाजूला स्थित, ते बॉक्समधून सिलिकॉन वेफर आपोआप काढून टाकण्यासाठी आणि फर्नेस ट्यूबमध्ये ठेवण्यासाठी किंवा प्रक्रिया केल्यानंतर ते काढून टाकण्यासाठी वापरले जाते.
▪ कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेल:
कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेलचा वापर सिलिकॉन वेफर्स असलेला बॉक्स ठेवण्यासाठी केला जातो आणि तो रोबोट ऍक्सेससाठी फिरवला जाऊ शकतो.
▪ वेफर कॅसेट:
प्रक्रिया केल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन वेफर्स संचयित आणि हस्तांतरित करण्यासाठी वेफर कॅसेटचा वापर केला जातो.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-२२-२०२४