वर दर्शविल्याप्रमाणे, एक वैशिष्ट्यपूर्ण आहे
पूर्वार्ध:
हीटिंग एलिमेंट (हीटिंग कॉइल): फर्नेस ट्यूबच्या सभोवताली स्थित, सामान्यत: प्रतिरोधक तारांपासून बनविलेले, भट्टीच्या नळीच्या आतील भागात गरम करण्यासाठी वापरले जाते.
क्वार्ट्ज ट्यूब: गरम ऑक्सिडेशन भट्टीचा गाभा, उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्जपासून बनलेला असतो जो उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो आणि रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय राहू शकतो.
गॅस फीड: भट्टीच्या नळीच्या वरच्या बाजूला किंवा बाजूला स्थित, ते भट्टीच्या नळीच्या आतील भागात ऑक्सिजन किंवा इतर वायू वाहून नेण्यासाठी वापरले जाते.
एसएस फ्लँज: क्वार्ट्ज ट्यूब आणि गॅस लाइन जोडणारे घटक, कनेक्शनची घट्टपणा आणि स्थिरता सुनिश्चित करतात.
गॅस फीड लाइन्स: गॅस ट्रान्समिशनसाठी MFC ला गॅस सप्लाय पोर्टशी जोडणारे पाईप्स.
MFC (मास फ्लो कंट्रोलर): एक उपकरण जे क्वार्ट्ज ट्यूबच्या आत वायूच्या प्रवाहावर नियंत्रण ठेवते आणि आवश्यक गॅसचे प्रमाण अचूकपणे नियंत्रित करते.
व्हेंट: भट्टीच्या नळीच्या आतून उपकरणाच्या बाहेरील बाजूस एक्झॉस्ट गॅस बाहेर टाकण्यासाठी वापरला जातो.
खालील भाग
होल्डरमध्ये सिलिकॉन वेफर्स: ऑक्सिडेशन दरम्यान एकसमान उष्णता सुनिश्चित करण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्स एका विशेष होल्डरमध्ये ठेवल्या जातात.
वेफर होल्डर: सिलिकॉन वेफर ठेवण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर स्थिर राहील याची खात्री करण्यासाठी वापरला जातो.
पेडेस्टल: एक रचना ज्यामध्ये सिलिकॉन वेफर होल्डर असते, सामान्यतः उच्च तापमान प्रतिरोधक सामग्रीपासून बनविले जाते.
लिफ्ट: सिलिकॉन वेफर्सचे स्वयंचलित लोडिंग आणि अनलोडिंगसाठी क्वार्ट्ज ट्यूबमध्ये आणि बाहेर वेफर धारकांना उचलण्यासाठी वापरले जाते.
वेफर ट्रान्सफर रोबोट: फर्नेस ट्यूब उपकरणाच्या बाजूला स्थित, याचा वापर बॉक्समधून सिलिकॉन वेफर आपोआप काढून फर्नेस ट्यूबमध्ये ठेवण्यासाठी किंवा प्रक्रिया केल्यानंतर काढून टाकण्यासाठी केला जातो.
कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेल: कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेलचा वापर सिलिकॉन वेफर्स असलेला बॉक्स ठेवण्यासाठी केला जातो आणि रोबोट ऍक्सेससाठी फिरवला जाऊ शकतो.
वेफर कॅसेट: प्रक्रिया करण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्स साठवण्यासाठी आणि हस्तांतरित करण्यासाठी वेफर कॅसेटचा वापर केला जातो.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-२२-२०२४