फर्नेस ट्यूब उपकरणाची अंतर्गत रचना तपशीलवार स्पष्ट केली आहे

वर दर्शविल्याप्रमाणे, एक वैशिष्ट्यपूर्ण आहे

पूर्वार्ध:

▪ हीटिंग एलिमेंट (हीटिंग कॉइल):

फर्नेस ट्यूबच्या आजूबाजूला स्थित, सहसा रेझिस्टन्स वायरपासून बनवलेले असते, जे फर्नेस ट्यूबच्या आतील भागात गरम करण्यासाठी वापरले जाते.

▪ क्वार्ट्ज ट्यूब:

गरम ऑक्सिडेशन भट्टीचा गाभा, उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्जचा बनलेला आहे जो उच्च तापमानाला तोंड देऊ शकतो आणि रासायनिकदृष्ट्या निष्क्रिय राहू शकतो.

▪ गॅस फीड:

भट्टीच्या नळीच्या वरच्या बाजूला किंवा बाजूला स्थित, ते भट्टीच्या नळीच्या आतील भागात ऑक्सिजन किंवा इतर वायू वाहून नेण्यासाठी वापरले जाते.

▪ SS फ्लँज:

क्वार्ट्ज ट्यूब आणि गॅस लाईन्स जोडणारे घटक, कनेक्शनची घट्टपणा आणि स्थिरता सुनिश्चित करतात.

▪ गॅस फीड लाइन्स:

गॅस ट्रान्समिशनसाठी एमएफसीला गॅस सप्लाय पोर्टशी जोडणारे पाईप्स.

▪ MFC (मास फ्लो कंट्रोलर):

एक उपकरण जे क्वार्ट्ज ट्यूबच्या आत वायूच्या प्रवाहावर नियंत्रण ठेवते आणि आवश्यक गॅसचे प्रमाण अचूकपणे नियंत्रित करते.

▪ वेंट:

फर्नेस ट्यूबच्या आतून उपकरणाच्या बाहेरील बाजूस एक्झॉस्ट गॅस बाहेर टाकण्यासाठी वापरला जातो.

खालचा भाग:

▪ होल्डरमध्ये सिलिकॉन वेफर्स:

ऑक्सिडेशन दरम्यान एकसमान उष्णता सुनिश्चित करण्यासाठी सिलिकॉन वेफर्स एका विशेष होल्डरमध्ये ठेवलेले असतात.

▪ वेफर होल्डर:

सिलिकॉन वेफर धरून ठेवण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर स्थिर राहील याची खात्री करण्यासाठी वापरले जाते.

▪ पादचारी:

सिलिकॉन वेफर होल्डर असलेली रचना, सामान्यतः उच्च तापमान प्रतिरोधक सामग्रीपासून बनलेली असते.

▪ लिफ्ट:

सिलिकॉन वेफर्सचे स्वयंचलित लोडिंग आणि अनलोडिंगसाठी क्वार्ट्ज ट्यूबमध्ये आणि बाहेर वेफर होल्डर उचलण्यासाठी वापरले जाते.

▪ वेफर ट्रान्सफर रोबोट:

फर्नेस ट्यूब उपकरणाच्या बाजूला स्थित, ते बॉक्समधून सिलिकॉन वेफर आपोआप काढून टाकण्यासाठी आणि फर्नेस ट्यूबमध्ये ठेवण्यासाठी किंवा प्रक्रिया केल्यानंतर ते काढून टाकण्यासाठी वापरले जाते.

▪ कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेल:

कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेलचा वापर सिलिकॉन वेफर्स असलेला बॉक्स ठेवण्यासाठी केला जातो आणि तो रोबोट ऍक्सेससाठी फिरवला जाऊ शकतो.

▪ वेफर कॅसेट:

प्रक्रिया केल्या जाणाऱ्या सिलिकॉन वेफर्स संचयित आणि हस्तांतरित करण्यासाठी वेफर कॅसेटचा वापर केला जातो.