The SinteredЦахиурын карбид (SiC)Кристал/Вафель завьхагас дамжуулагч болон микроэлектроникийн үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагад зориулагдсан. Энэ нь өндөр температурт боловсруулах явцад цахиурын талстууд болон вафельтай харьцах найдвартай платформ болж, тэдгээрийн бүрэн бүтэн байдал, цэвэр байдлыг бүхэлд нь хангадаг.
Гол онцлогууд
- Гайхамшигтай дулааны тогтвортой байдал: 1600°С хүртэл температурыг тэсвэрлэх чадвартай, дулааны нарийн хяналт шаарддаг процессуудад тохиромжтой.
- Химийн дээд зэргийн эсэргүүцэл: Ихэнх идэмхий химийн бодис, хийд тэсвэртэй, боловсруулах хатуу ширүүн орчинд удаан эдэлгээтэй.
- Бат бөх механик хүч: Өндөр ачаалалтай үед бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, хэв гажилт, эвдрэлийн магадлалыг бууруулдаг.
- Хамгийн бага дулааны тэлэлт: Дулааны цочрол болон хагарлын эрсдлийг багасгах зорилгоор бүтээгдсэн бөгөөд удаан хугацаагаар ашиглахад найдвартай гүйцэтгэлийг санал болгодог.
- Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл: Тодорхой процессын шаардлагад нийцүүлэн, янз бүрийн болор болон вафель хэмжээтэй тохирох өндөр нарийвчлалтайгаар урласан.
Хэрэглээ
• Хагас дамжуулагч хавтан боловсруулах
• LED үйлдвэрлэл
• Фотоволтайк эсийн үйлдвэрлэл
• Химийн уурын хуримтлуулах систем (CVD).
• Материал судлалын судалгаа, хөгжүүлэлт
| 烧结碳化硅物理特性 -ийн физик шинж чанарSсонирхсонSдүрсCарбид | |
| 性质 / Эд хөрөнгө | 典型数值 / Ердийн утга |
| 化学成分 / ХимийнНайрлага | SiC>95%, Si<5% |
| 体积密度 / Бөөн нягтрал | >3.07 г/см³ |
| 显气孔率/ Илэрхий сүвэрхэг Илэрхий сүвэрхэг байдал | <0.1% |
| 常温抗弯强度/ 20℃-ийн хагарлын модуль | 270 МПа |
| 高温抗弯强度/ 1200℃-ийн хагарлын модуль | 290МПа |
| 硬度/ 20℃-ийн хатуулаг | 2400 кг/мм² |
| 断裂韧性/ Хагарлын бат бөх чанар 20% | 3.3МПа · м1/2 |
| 导热系数/ 1200℃-ийн дулаан дамжуулалт | 45w/m .K |
| 热膨胀系数/ 20-1200℃ дулааны тэлэлт | 4.51 × 10-6/℃ |
| 最高工作温度/ Хамгийн их ажлын температур | 1400℃ |
| 热震稳定性/ 1200℃ дулааны цохилтонд тэсвэртэй | Сайн байна |
Яагаад манай синтержүүлсэн цахиурын карбид (SiC) болор/вафель завийг сонгох хэрэгтэй вэ?
Манай SiC Crystal/Wafer Boat-ыг сонгох нь найдвартай, үр ашигтай, урт наслахыг сонгох гэсэн үг юм. Завь бүрийг үйлдвэрлэлийн хамгийн өндөр стандартад нийцүүлэхийн тулд чанарын хяналтын хатуу арга хэмжээ авдаг. Энэхүү бүтээгдэхүүн нь таны үйлдвэрлэлийн үйл явцын аюулгүй байдал, бүтээмжийг нэмэгдүүлээд зогсохгүй таны цахиурын талст болон вафельний тогтвортой чанарыг баталгаажуулдаг. Манай SiC Crystal/Wafer Boat-ийн тусламжтайгаар та өөрийн үйл ажиллагааны шилдэг байдлыг дэмжих шийдэлд итгэж болно.
