Зэргэлдээ өрлөгийн завь

Богино тайлбар:

Vet-china-ийн Contiguous Wafer Boat нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өрөмтэй үр дүнтэй харьцах зориулалттай. Нарийвчлалтай инженерчлэгдсэн, vet-china-ийн шийдэл нь дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийг баталгаажуулж, үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгохын зэрэгцээ эвдрэлийг багасгаж, нэвтрүүлэх чадварыг нэмэгдүүлдэг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

vet-china компани хагас дамжуулагчийн дараагийн үеийн үйлдвэрлэлд зориулан бүтээсэн хамгийн сүүлийн үеийн Contiguous Wafer Boat-ыг танилцууллаа. Энэхүү нямбай дизайнтай завь нь өрмөнцөртэй харьцах хосгүй нарийвчлалыг санал болгож, жигд ажиллагааг хангаж, боловсруулах явцад эвдрэх эрсдлийг эрс багасгадаг.

Өндөр чанартай материалаар бүтээгдсэн Contiguous Wafer Boat нь маш сайн дулааны тогтвортой байдал, химийн онцгой эсэргүүцэлтэй тул өндөр температур, химийн хатуу орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой. Түүний шинэлэг загвар нь ялтсуудыг найдвартай барьж, төгс тэгшлэх боломжийг олгож, нэвтрүүлэх чадварыг оновчтой болгож, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.

Энэхүү орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдийн эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд янз бүрийн хэмжээ, тохиргоог дэмждэг энэхүү хавтанцар завь нь. Vet-china-ийн Contiguous Wafer Boat-ийг үйлдвэрлэлийн шугамдаа оруулснаар та гүйцэтгэл сайжирч, зогсолт багасч, ургацын хэмжээ нэмэгдэх болно.

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хил хязгаарыг давсан бүтээгдэхүүн нийлүүлж, чанар, инновацийн төлөөх малын эмч нарын ялгааг мэдрээрэй. Contiguous Wafer Boat-ийг сонгоод, өрмөнцөр боловсруулах чадвараа шинэ өндөрлөгт гаргаарай.

Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын шинж чанар

Дахин талстжуулсан цахиурын карбид (R-SiC) нь 2000℃-аас дээш өндөр температурт үүсдэг алмаазаас хойш хоёрдугаарт ордог хатуулагтай, өндөр үзүүлэлттэй материал юм. Энэ нь өндөр температурын бат бэх, хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй, маш сайн исэлдэлтийн эсэргүүцэл, дулааны цохилтод тэсвэртэй гэх мэт SiC-ийн маш сайн шинж чанарыг хадгалдаг.

● Маш сайн механик шинж чанартай. Дахин талстжуулсан цахиурын карбид нь нүүрстөрөгчийн эслэгээс илүү бат бөх, хөшүүн чанар, нөлөөллийн өндөр эсэргүүцэлтэй, эрс тэс температурын орчинд сайн гүйцэтгэлтэй, янз бүрийн нөхцөл байдалд илүү сайн тэнцвэржүүлж чаддаг. Нэмж дурдахад энэ нь уян хатан чанар сайтай бөгөөд сунах, гулзайлгах үед амархан гэмтдэггүй бөгөөд энэ нь түүний гүйцэтгэлийг ихээхэн сайжруулдаг.

● Зэврэлтэнд тэсвэртэй. Дахин талстжсан цахиур карбид нь янз бүрийн зөөвөрлөгчийн зэврэлтэнд тэсвэртэй, янз бүрийн идэмхий бодисыг элэгдэлд оруулахаас сэргийлж, механик шинж чанараа удаан хугацаанд хадгалах чадвартай, бат бөх наалддаг тул ашиглалтын хугацааг уртасгадаг. Нэмж дурдахад энэ нь дулааны тогтвортой байдал сайтай, температурын тодорхой өөрчлөлтөд дасан зохицож, хэрэглээний үр нөлөөг сайжруулдаг.

● Цутгах нь агшихгүй. Цутгах процесс нь агшихгүй тул үлдэгдэл стресс нь бүтээгдэхүүний хэв гажилт, хагарал үүсгэхгүй бөгөөд нарийн төвөгтэй хэлбэр, өндөр нарийвчлалтай хэсгүүдийг бэлтгэх боломжтой.

重结晶碳化硅物理特性 Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанар
性质 / Эд хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
使用温度/ Ажлын температур (°C)	1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (багасгагч орчин)
SiC含量/ SiC агуулга	> 99.96%
自由Си 含量/ Үнэгүй Si контент	< 0.1%
体积密度/Бөөн нягтрал	2.60-2.70 г/см³
气孔率/ Илэрхий сүвэрхэг	< 16%
抗压强度/ Шахалтын хүч	> 600МПа
常温抗弯强度/Хүйтэн гулзайлтын хүч	80-90 МПа (20°C)
高温抗弯强度Халуун гулзайлтын хүч	90-100 МПа (1400 ° C)
热膨胀系数/ 1500°C-ийн дулааны тэлэлт	4.70 10^-6/°С
导热系数/Дулаан дамжуулалт @ 1200 ° C	23В/м•К
杨氏模量/ Уян хатан модуль	240 ГПа
抗热震性/ Дулааны цохилтод тэсвэртэй	Маш сайн

VET Energy бол ньCVD бүрээстэй графит болон цахиурын карбидын захиалгат бүтээгдэхүүний жинхэнэ үйлдвэрлэгч,нийлүүлэх боломжтойянз бүрийнхагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрт зориулсан захиалгат эд анги. Oтехникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас ирдэг тул илүү мэргэжлийн материаллаг шийдлүүдийг гаргаж чадначамд.

Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангах дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж,болонТэд тусгай патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь бүрээс ба субстрат хоорондын холболтыг илүү нягт, салгахад өртөмтгий болгодог.

ЗСӨ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Эд хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягт	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2 ~ 10 мкм
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Жкг^-1· К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ThermaлДамжуулах чадвар	300W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1