SiC бүрэх/бүрсэн графит субстрат/ Хагас дамжуулагчийн тавиур

SiC бүрэх/бүрсэн графит субстрат/ Хагас дамжуулагч Онцлох зурагт зориулсан тавиур

Богино тайлбар:

Эпитаксиаль өсөлтөд зориулсан VET Energy SiC бүрсэн графит шахагч нь урт хугацааны туршид тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангах зориулалттай өндөр хүчин чадалтай бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, өндөр цэвэршилттэй, элэгдэлд тэсвэртэй тул вафель боловсруулахад тохиромжтой шийдэл юм.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

SiC бүрэх/хагас дамжуулагчийн Графит мэдрэгчээр бүрсэн

TheSiC бүрсэн графит субстратхагас дамжуулагч боловсруулах үйлдвэрийн хатуу шаардлагыг хангахад зориулагдсан өндөр бат бөх, үр ашигтай шийдэл юм. Өндөр цэвэршилттэй давхаргатайцахиурын карбид (SiC) бүрэх, энэ субстрат нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэл, урт хугацааны ашиглалтын хугацааг хангадаг тул MOCVD процесс, бал чулуун хавтан зөөгч болон бусад өндөр температурт орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.

Онцлогууд:
· Маш сайн дулааны цохилтонд тэсвэртэй
· Биеийн цочролд маш сайн тэсвэртэй
· Маш сайн химийн эсэргүүцэл
· Супер өндөр цэвэршилттэй
· Цогцолбор хэлбэртэй байх боломжтой
·Исэлдүүлж буй агаар мандалд ашиглах боломжтой

Өргөдөл:

Бүтээгдэхүүний онцлог ба давуу талууд:

1. Дээд зэргийн дулааны эсэргүүцэл:Өндөр цэвэршилттэйSiC бүрэх, субстрат нь хэт өндөр температурыг тэсвэрлэж, эпитакси болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх гэх мэт эрэлт хэрэгцээтэй орчинд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг.

2. Бат бөх чанарыг сайжруулсан:SiC бүрсэн графит бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь химийн зэврэлт, исэлдэлтийг эсэргүүцэх зориулалттай бөгөөд стандарт графит суурьтай харьцуулахад субстратын ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

3. Шилэн бүрхүүлтэй графит:Шилэн бүрхүүлийн өвөрмөц бүтэцSiC бүрэхгадаргуугийн маш сайн хатуулгийг хангаж, өндөр температурт боловсруулах явцад элэгдлийг багасгадаг.

4. Өндөр цэвэршилттэй SiC бүрэх:Манай субстрат нь мэдрэмтгий хагас дамжуулагч процесст хамгийн бага бохирдлыг баталгаажуулж, материалын хатуу цэвэршилтийг шаарддаг үйлдвэрүүдэд найдвартай байдлыг санал болгодог.

5. Өргөн зах зээлийн хэрэглээ:TheSiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгчХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт SiC бүрсэн бүтээгдэхүүний эрэлт нэмэгдэж, энэ субстратыг бал чулуун хавтангийн зах зээл болон цахиурын карбидаар бүрсэн бал чулуун тавиурын зах зээлд гол тоглогч болгон байрлуулснаар зах зээл өссөөр байна.

Суурь графит материалын ердийн шинж чанарууд:

Харагдах нягтрал:	1.85 г/см3
Цахилгаан эсэргүүцэл:	11 мкм
Гулзайлтын хүч:	49 МПа (500кгф/см2)
Эргийн хатуулаг:	58
Үнс:	<5ppm
Дулаан дамжуулалт:	116 Вт/мК (100 ккал/мцаг-℃)

ЗСӨ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Үл хөдлөх хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат 多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягт	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Grain Size	2 ~ 10 мкм
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Жкг^-1· К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / Дулаан дамжуулалт	300W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Дулааны өргөтгөл(CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy нь SiC бүрэх, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрэх, пиролит нүүрстөрөгчийн бүрэх гэх мэт өөр өөр өнгөлгөө бүхий графит, цахиурын карбидын бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэдэг жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлэх боломжтой.

Манай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас ирдэг тул танд илүү мэргэжлийн материаллаг шийдлүүдийг санал болгож чадна.

Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангах дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, тусгай патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь бүрээс болон субстрат хоорондын холболтыг илүү нягт, салгахад өртөмтгий болгодог.

Таныг манай үйлдвэрт хүрэлцэн ирэхийг урьж байна, цаашдаа ярилцъя!