CVD SiC бүрээстэй MOCVD графит зөөгч

Богино тайлбар:

VET Energy SiC бүрсэн MOCVD Susceptor нь урт хугацааны туршид тогтвортой, найдвартай ажиллагааг хангах зориулалттай өндөр хүчин чадалтай бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, дулааны жигд байдал, өндөр цэвэршилттэй, элэгдэлд тэсвэртэй тул вафель боловсруулахад тохиромжтой шийдэл юм.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

SiC бүрсэн графит мэдрэгч нь янз бүрийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Бид патентлагдсан технологио ашиглан мэдрэгчийг маш өндөр цэвэршилттэй, сайн бүрэх чадвартай, маш сайн үйлчилгээтэй, химийн өндөр эсэргүүцэл, дулааны тогтвортой байдлын шинж чанартай болгодог.

Манай бүтээгдэхүүний онцлог:

1. 1700℃ хүртэл өндөр температурт исэлдэлтийн эсэргүүцэл.
2. Өндөр цэвэршилт, дулааны жигд байдал
3. Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт, давс, органик урвалжууд.
4. Өндөр хатуулаг, нягт гадаргуу, нарийн ширхэгтэй тоосонцор.
5. Үйлчилгээний хугацаа урт, удаан эдэлгээтэй

ЗСӨ SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ийн үндсэн физик шинж чанаруудбүрэх
性质 / Эд хөрөнгө	典型数值 / Ердийн утга
晶体结构 / Кристал бүтэц	FCC β үе шат多晶，主要为（111）取向
密度 / Нягт	3.21 г/см³
硬度 / Хатуулаг	2500 维氏硬度（500г ачаалал）
晶粒大小 / Үр тарианы хэмжээ	2 ~ 10 мкм
纯度 / Химийн цэвэр байдал	99.99995%
热容 / Дулааны багтаамж	640 Жкг^-1· К^-1
升华温度 / Сублимацийн температур	2700℃
抗弯强度 / Гулзайлтын бат бэх	415 МПа RT 4 цэг
杨氏模量 / Young's modulus	430 Gpa 4pt нугалах, 1300℃
导热系数 / ThermaлДамжуулах чадвар	300W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Дулааны тэлэлт (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy нь SiC бүрэх, TaC бүрэх, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрэх, пиролит нүүрстөрөгчийн бүрэх гэх мэт өөр өөр өнгөлгөө бүхий графит, цахиурын карбидын бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэдэг жинхэнэ үйлдвэрлэгч бөгөөд хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлийн төрөл бүрийн захиалгат эд ангиудыг нийлүүлэх боломжтой.

Манай техникийн баг дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас ирдэг тул танд илүү мэргэжлийн материаллаг шийдлүүдийг санал болгож чадна.

Бид илүү дэвшилтэт материалаар хангах дэвшилтэт процессуудыг тасралтгүй хөгжүүлж, тусгай патентлагдсан технологийг боловсруулсан бөгөөд энэ нь бүрээс болон субстрат хоорондын холболтыг илүү нягт, салгахад өртөмтгий болгодог.

Таныг манай үйлдвэрт хүрэлцэн ирэхийг урьж байна, цаашдаа ярилцъя!