വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനായി വിപുലമായ SiC കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽ

അഡ്വാൻസ്ഡ്SiC കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽവെറ്റ്-ചൈന സൃഷ്ടിച്ച വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണത്തിന് മികച്ച പരിഹാരം നൽകുന്നു. ഈ കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽ നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത് SiC (സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്) മെറ്റീരിയലാണ്, കൂടാതെ ഉയർന്ന കാഠിന്യവും താപ പ്രതിരോധവും ഉയർന്ന താപനിലയിലും വിനാശകരമായ അന്തരീക്ഷത്തിലും മികച്ച പ്രകടനം നിലനിർത്താൻ ഇതിനെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. കാൻ്റിലിവർ പാഡിലിൻ്റെ രൂപകൽപ്പന പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് വേഫറിനെ വിശ്വസനീയമായി പിന്തുണയ്ക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു, ഇത് വിഘടനത്തിൻ്റെയും കേടുപാടുകളുടെയും സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.

SiC കാൻ്റിലിവർ പാഡിൽഓക്സിഡേഷൻ ഫർണസ്, ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസ്, അനീലിംഗ് ഫർണസ് തുടങ്ങിയ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ ഉപകരണങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു പ്രത്യേക ഘടകമാണ്, പ്രധാന ഉപയോഗം ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ വേഫറുകൾ ലോഡുചെയ്യുന്നതിനും അൺലോഡുചെയ്യുന്നതിനും പിന്തുണയ്ക്കുന്നതിനും കൊണ്ടുപോകുന്നതിനും വേണ്ടിയാണ്.

പൊതു ഘടനകൾയുടെSiCcആൻ്റിലിവർpകൂട്ടിച്ചേർക്കൽ: ഒരു കാൻ്റിലിവർ ഘടന, ഒരറ്റത്ത് ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്നതും മറ്റേ അറ്റത്ത് സ്വതന്ത്രവുമാണ്, സാധാരണയായി പരന്നതും പാഡിൽ പോലെയുള്ളതുമായ രൂപകൽപ്പനയുണ്ട്.

ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പുനൽകാൻ VET എനർജി ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി റീക്രിസ്റ്റലൈസ്ഡ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് മെറ്റീരിയലുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.