грејач за керамички облоги од силициум карбид

Ветеринар-КинаСиликон карбид керамикаОблогата е заштитна обвивка со високи перформанси изработена од исклучително тврд и отпорен на абењесилициум карбид (SiC)материјал, кој обезбедува одлична хемиска отпорност на корозија и стабилност на висока температура. Овие карактеристики се клучни во производството на полупроводници, паСиликон карбид керамички слоје широко користен во клучните компоненти на опремата за производство на полупроводници.

Специфичната улога на Вет-КинаСиликон карбид керамикаОблогата во производството на полупроводници е како што следува:

Зголемете ја издржливоста на опремата:Керамичка облога од силициум карбид Силикон карбид керамичкиот слој обезбедува одлична заштита на површината за опремата за производство на полупроводници со својата исклучително висока цврстина и отпорност на абење. Особено во високотемпературни и високо корозивни процесни средини, како што се хемиско таложење на пареа (CVD) и плазма офорт, облогата може ефикасно да спречи оштетување на површината на опремата од хемиска ерозија или физичко абење, а со тоа значително да го продолжи работниот век на опремата и намалување на времето на застој предизвикано од честа замена и поправка.

Подобрете ја чистотата на процесот:Во процесот на производство на полупроводници, малата контаминација може да предизвика дефекти на производот. Хемиската инертност на керамичката облога од силициум карбид му овозможува да остане стабилна под екстремни услови, спречувајќи го материјалот да ослободува честички или нечистотии, со што се обезбедува еколошка чистота на процесот. Ова е особено важно за чекори на производство кои бараат висока прецизност и висока чистота, како што се PECVD и имплантација на јони.

Оптимизирајте термичко управување:Во полупроводничка обработка на висока температура, како што се брза термичка обработка (RTP) и процеси на оксидација, високата топлинска спроводливост на керамичката облога од силициум карбид овозможува рамномерна распределба на температурата внатре во опремата. Ова помага да се намали топлинскиот стрес и деформацијата на материјалот предизвикани од температурните флуктуации, а со тоа да се подобри прецизноста и конзистентноста на производството на производот.

Поддржете сложени процесни околини:Во процесите за кои е потребна сложена контрола на атмосферата, како што се процесите на офорт на ICP и PSS, стабилноста и отпорноста на оксидација на керамичката облога од силикон карбид обезбедуваат опремата да одржува стабилни перформанси при долгорочна работа, намалувајќи го ризикот од деградација на материјалот или оштетување на опремата поради на промените во животната средина.