Носач за обложување SiC За RTP/RTA е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници наречени Брза термичка обработка и жарење, ја користиме нашата патентирана технологија за да го направиме носачот на силициум карбид со исклучително висока чистота, добра униформност на облогата и одличен работен век, како како и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.
Карактеристики на нашите производи:
1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и топлинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога | |
| 性质 / Имотот | 典型数值 / Типична вредност |
| 晶体结构 / Кристална структура | FCC β фаза多晶，主要为（111). |
| 密度 / Густина | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Цврстина | 2500 维氏硬度 (500 g оптоварување) |
| 晶粒大小 / Големина на жито | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Хемиска чистота | 99,99995% |
| 热容 / Топлински капацитет | 640 J·kg-1· К-1 |
| 升华温度 / Температура на сублимација | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Јачина на свиткување | 415 MPa RT 4-точка |
| 杨氏模量 / Модул на Јанг | 430 Gpa 4pt кривина, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалСпроводливост | 300 W·m-1· К-1 |
| 热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy е вистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со различни премази како облога SiC, TaC облога, стаклен јаглероден слој, пиролитички јаглероден слој итн., Може да снабдува различни приспособени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.
Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.
Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.
Топло добредојде да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!
