CVD (Chemical Vapor Deposition) е најчесто користен метод за подготовка на облоги од силициум карбид.CVD силициум карбид премазиимаат многу уникатни карактеристики на изведба. Оваа статија ќе го претстави начинот на подготовка на CVD облогата со силициум карбид и неговите карактеристики на изведба.
1. Начин на подготовка наCVD облога од силициум карбид
Методот CVD ги претвора гасните прекурсори во цврсти облоги од силициум карбид во услови на висока температура. Според различните прекурсори на гасови, може да се подели на гасна фаза CVD и течна фаза CVD.
1. CVD фаза на пареа
Пареа фаза CVD користи гасовити прекурсори, обично органосилициум соединенија, за да се постигне раст на силициум карбид филмови. Најчесто користените органосилициумски соединенија вклучуваат метилсилан, диметилсилан, моносилан, итн., кои формираат силициум карбидни филмови на метални подлоги со транспортирање на гасовити прекурсори во комори за реакција на висока температура. Областите со висока температура во комората за реакција обично се генерираат со индукционо загревање или отпорно загревање.
2. Течна фаза CVD
CVD во течна фаза користи течен претходник, обично органски растворувач кој содржи силициум и силинол соединение, кое се загрева и испарува во комора за реакција, а потоа на подлогата се формира филм од силициум карбид преку хемиска реакција.
2. Карактеристики на изведба наCVD облога од силициум карбид
1.Одлични перформанси на висока температура
CVD силициум карбид премазинудат одлична стабилност на високи температури и отпорност на оксидација. Тој е способен да работи во средини со висока температура и може да издржи екстремни услови на високи температури.
2. Добри механички својства
CVD облога од силициум карбидима висока цврстина и добра отпорност на абење. Ги штити металните подлоги од абење и корозија, продолжувајќи го работниот век на материјалот.
3. Одлична хемиска стабилност
CVD силициум карбид премазисе високо отпорни на вообичаени хемикалии како киселини, алкалии и соли. Отпорен е на хемиски напад и корозија на подлогата.
4. Низок коефициент на триење
CVD облога од силициум карбидима низок коефициент на триење и добри самоподмачкувачки својства. Го намалува триењето и абењето и ја подобрува ефикасноста на употребата на материјалот.
5.Добра топлинска спроводливост
CVD облогата со силициум карбид има добри својства на топлинска спроводливост. Може брзо да спроведе топлина и да ја подобри ефикасноста на дисипација на топлина на металната основа.
6.Одлични својства на електрична изолација
Слој со силициум карбид CVD има добри својства на електрична изолација и може да спречи истекување на струја. Широко се користи во изолационата заштита на електронските уреди.
7. Прилагодлива дебелина и состав
Со контролирање на условите за време на CVD процесот и концентрацијата на прекурсорот, може да се прилагодат дебелината и составот на филмот од силициум карбид. Ова обезбедува многу опции и флексибилност за различни апликации.
Накратко, CVD облогата од силициум карбид има одлични перформанси на висока температура, одлични механички својства, добра хемиска стабилност, низок коефициент на триење, добра топлинска спроводливост и својства на електрична изолација. Овие својства прават CVD силициум карбид премази широко користени во многу области, вклучувајќи електроника, оптика, воздушна, хемиска индустрија итн.
Време на објавување: Мар-20-2024