Графит носач за PECVD процес

Графит носач за процес PECVD Избрана слика

Краток опис:

ВЕТ енергијаPECVD Graphite Boat for Solar Panel е напредна компонента дизајнирана специјално за производство на соларни панели со високи перформанси. Се користи во процесите на плазма засилено таложење на пареа (PECVD), овој графитен брод обезбедува оптимално ракување со материјалите и униформно таложење на тенки слоеви на соларните ќелии. Дизајниран за прецизност и издржливост, тој обезбедува супериорна топлинска спроводливост, висока отпорност на корозија и минимална контаминација, кои се неопходни за производство на ефикасни, висококвалитетни соларни панели.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

ВЕТ енергијаГрафитниот носач на процес PECVD е висококвалитетен потрошен материјал приспособен за процес PECVD (хемиско таложење на пареа засилено со плазма). Овој носач на графит е направен од графитен материјал со висока чистота, висока густина, со одлична отпорност на висока температура, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики, може да обезбеди стабилна платформа за носење за процесот PECVD, за да се обезбеди униформност и плошност на тенок филм таложење.

Графитните носачи за PECVD процес ги имаат следните карактеристики:

▪ Висока чистота: екстремно ниска содржина на нечистотии, со што се избегнува контаминација на филмот и се обезбедува квалитет на филмот.

▪ Висока густина: висока густина, висока механичка сила, способна да издржи висока температура и висок притисок PECVD средина.

▪ Добра димензионална стабилност: мала димензионална промена при висока температура, обезбедувајќи стабилност на процесот.

▪ Одлична топлинска спроводливост: ефикасно пренесувајте топлина за да спречите прегревање на нафората.

▪ Силна отпорност на корозија: способна да се спротивстави на ерозија од различни корозивни гасови и плазма.

▪ Прилагодена услуга: графитни носачи со различни големини и форми може да се приспособат според потребите на клиентите.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Масовна густина	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропустливост	DIN 51935	0,06	cm²/s
Тврдост на Роквел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Јачина на притисок	DIN 51910	130	MPa
Модул на Јанг	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Термичка експанзија (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на соларни ќелии со висока ефикасност, поддржувајќи обработка на нафора со големи димензии G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително ја зголемува пропусната моќ, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број носач на нафора
ПЕВЦД Грефит брод - Серијата 156	156-13 грефит брод	144
	156-19 грефит брод	216
	156-21 грефит брод	240
	156-23 графитен брод	308
PEVCD Grephite брод - Серијата 125	125-15 грефит брод	196
	125-19 грефит брод	252
	125-21 грфит брод	280