Графитен прстен обложен со силикон карбид CVD

Истакната слика од графитниот прстен со CVD силикон карбид обложен

Краток опис:

Графитниот прстен обложен со силикон карбид VET Energy е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Типични својства на основниот графит материјал:

Очигледна густина:	1,85 g/cm3
Електрична отпорност:	11 μΩm
Флексурална сила:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Цврстина на брегот:	58
Пепел:	<5 стр./мин
Топлинска спроводливост:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Доставуваме различни сензори и графитни компоненти за сите сегашни епитаксии реактори. Нашите производи вклучуваат сенцептори за буриња за единиците LPE, сенцептори за палачинки за единиците LPE, CSD и Gemini и сенцептори со единечна обланда за аплицирани и ASM единици.

Со комбинирање на силни партнерства со водечки OEM, експертиза за материјали и производствено знаење, ветеринарот нуди оптимален дизајн за вашата апликација.

СОО Енергија е навистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со CVD слој,може да снабдуваразличниприлагодени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. OТехничкиот тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди попрофесионални материјални решенијаза тебе.

Fкарактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итоплинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1