Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer mai i te VET Energy he taputapu mahi teitei i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia o te hiko o muri mai me nga taputapu RF. Ma te VET Energy e whakarite kia tino hangaia ia wafer epitaxial kia pai ake te kawe i te waiariki, te ngaohiko pakaru, me te nekeneke kawe, e pai ana mo nga tono penei i nga waka hiko, te whakawhitiwhiti korero 5G, me te hikohiko hiko kaha.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te VET Energy silicon carbide (SiC) he angiangi epitaxial he tino mahi teitei te whanui bandgap semiconductor me te tino pai o te parenga teitei o te pāmahana, te auau teitei me nga ahuatanga kaha. He taputapu pai mo te whakatipuranga hou o nga taputapu hiko hiko. Ka whakamahia e te VET Energy te hangarau epitaxial MOCVD matatau ki te whakatipu i nga paparanga epitaxial SiC-kounga teitei ki runga i nga taputapu SiC, kia pai ai te mahi me te riterite o te wafer.

Ko ta matou Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer e tuku ana i te hototahitanga pai ki te maha o nga rauemi semiconductor tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate. Ma tana paparanga epitaxial pakari, ka tautokohia e ia nga tikanga matatau penei i te tipu o te Epi Wafer me te whakauru ki nga taonga penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, me te whakarite i te whakamahinga maha puta noa i nga hangarau rereke. I hoahoatia kia hototahi ki nga punaha whakahaere Ripene paerewa-ahumahi, ka whakarite i te pai me te ngawari o nga mahi i roto i nga taiao hangahanga semiconductor.

Ko te rarangi hua a VET Energy ehara i te mea iti ki nga angiangi epitaxial SiC. Ka whakaratohia ano hoki e matou he maha o nga momo taputapu taputapu semiconductor, tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, me etahi atu, kei te kaha ano hoki matou ki te whakawhanake i nga rauemi semiconductor whanui bandgap hou, penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, ki te whakatutuki i te hiahia a te umanga hikohiko hiko mo nga ra kei te heke mai mo nga taputapu mahi teitei ake.

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-inihi
Tūemi	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Tapa Wafer	Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-inihi
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Mata Mutu	Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP
Ruarua Mata	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Mata Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Mata Ra≤0.5nm
Tipi Tipi	Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)
Nuku	Kore e Whakaaetia
Nga karawarawa(Si-kanohi)	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter			Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter
Kapiti	Kore e Whakaaetia
Whakakorenga Tapa	3mm