Whakakikoruatia SiC / Papanga Kawhata Whakakikoruatia / Paepae mo te Semiconductor

Whakakikorua SiC / Papanga Kawhata Whakakikoruatia / Paepae mo te Atahanga Whakaaturanga Semiconductor

Whakaahuatanga Poto:

Ko te VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor mo te Epitaxial Growth he hua tino mahi i hangaia hei whakarato i nga mahi rite me te pono mo te waa roa. He tino pai te parenga wera me te riterite o te waiariki, te parakore teitei, te aukati horo, ka waiho hei otinga tino pai mo nga tono tukatuka angiangi.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

SiC paninga / pani o te susceptor Graphite mo Semiconductor

Ko teRaupapa Kauwhata Whakakikoruatia SiChe otinga tino roa me te whai hua i hangaia hei whakatutuki i nga hiahia kaha o te ahumahi tukatuka semiconductor. E whakaatu ana i te paparanga o te parakore teiteite paninga silicon carbide (SiC)., ka tukuna e tenei tïpako te tino pai o te waiariki, te aukati waiora, me te roa o te oranga o te ratonga, e pai ana mo nga tono i roto i nga mahi MOCVD, nga kaikawe angiangi kauwhata, me etahi atu taiao-teitei.

Āhuatanga:
· He Pai Te Atete Ngaa Ngawha
· Tino Pai Atete Huri-a-tinana
· Tino Pai Atete Matū
· Tino Maamaa Nui
· Te waatea i roto i te Hanga Matatini
· Ka taea te whakamahi i raro i te Oxidizing Atmosphere

Taupānga:

Nga waahanga hua me nga painga:

1. Tino Ngaaariki Atete:Ma te tino parakorepaninga SiC, ka mau te tïpako ki te tino mahana, me te whakarite kia rite tonu te mahi i roto i nga taiao e hiahia ana penei i te hanga epitaxy me te semiconductor.

2. Whakanuia te Maamaa:Ko nga waahanga kauwhata kua whakakikoruatia ki te SiC he mea hoahoa ki te aukati i te waikura matū me te hāoratanga, te whakanui ake i te oranga o te tïpako i whakaritea ki nga tïpako kauwhata paerewa.

3. Vitreous Whakakikorua Graphite:Ko te hanganga vitreous ahurei o tepaninga SiCe whakarato ana i te pakeke o te mata pai, te whakaiti i te kakahu me te haehae i te wa e tukatuka ana i te pāmahana teitei.

4. High Purity SiC paninga:Ko ta tatou tïpako e whakarite kia iti te poke i roto i nga tukanga semiconductor tairongo, e tuku pono ana mo nga umanga e hiahia ana kia maa nga rawa.

5. Taupānga Maakete whanui:Ko teSiC paninga graphite susceptorKei te piki haere te maakete i te mea ka piki te tono mo nga hua whakakikorua SiC i roto i nga mahi hangahanga semiconductor, ka tuu i tenei tïpako hei kaitakaro matua i roto i te maakete kawe wafer graphite me te maakete riipene graphite pania silicon carbide.

Āhuatanga angamaheni o te Rawa Kawhata Turanga:

Kiato Putanga:	1.85 g/cm3
Ātete Hiko:	11 μΩm
Te Kaha Toka:	49 MPa (500kgf/cm2)
Maamaa Takutai:	58
pungarehu:	<5ppm
Kawenga Ngawha:	116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga
性质 / Taonga	典型数值 / Uara Angamaheni
晶体结构 / Hanganga Kiriata	FCC β phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Kiato	3.21 g/cm³
硬度 / Te pakeke	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Raihi witi	2~10μm
纯度 / Matū Matū	99.99995%
热容 / Raukaha Wera	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Te Pawera Whakararo	2700 ℃
抗弯强度 / Te Kaha Takahuri	415 MPa RT 4-tohu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt piko, 1300℃
导热系数 / Ngaaahua	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Roha Weariki(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ko te VET Energy te tino kaihanga o nga hua graphite me te silicon carbide me nga paninga rereke penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaihe, te paninga waro pyrolytic, me etahi atu, ka taea te tuku i nga waahanga kua whakaritea mo te semiconductor me te ahumahi photovoltaic.

Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.

Ka whakawhanake tonu matou i nga tikanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake, a kua mahia e matou he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia piri, kia iti ake te wariu ki te wehe.

Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!