Ka whakamahia e te VET Energy te tino maamaacarbide silicon (SiC)i hanga e te waipara matū kohu(CVD)hei puna mo te tipuKiriata SiCna roto i te kawe kohu tinana (PVT). I roto i te PVT, ka utaina te rauemi puna ki roto i te awharikika whakararohia ki runga i te karaihe kakano.
Ko te puna parakore teitei e hiahiatia ana hei hanga i te kounga teiteiKiriata SiC.
He tohungatanga a VET Energy ki te whakarato SiC matūriki-nui mo te PVT na te mea he teitei ake te kiato i nga matūriki iti i hanga e te ngingiha mahorahora o nga hau kei roto Si me C. Kaore i rite ki te whakakorikori-waahanga totoka, ki te tauhohenga ranei o Si me C, karekau e hiahiatia he oumu whakamaarama i whakatapua, he waahi whakangao roa ranei i roto i te oumu tipu. He tata tonu te tere whakaetonga o tenei rauemi matūriki nui, e pai ake ai te riterite o te oma ki te oma.
Kupu Whakataki:
1. Whakaritehia te puna poraka CVD-SiC: Tuatahi, me whakarite e koe he puna poraka CVD-SiC-kounga teitei, i te nuinga o te waa o te parakore teitei me te teitei. Ka taea te whakarite i tenei ma te tikanga whakaheke matū (CVD) i raro i nga tikanga tauhohenga tika.
2. Te whakarite i te papapa: Whiriwhiria he tïpako e tika ana hei tïpako mo te tipu tioata kotahi o SiC. Ko nga rauemi tïpako e whakamahia nuitia ana ko te carbide silicon, silicon nitride, me etahi atu, he pai te taurite ki te kirikiri kotahi SiC tipu.
3. Te whakamahana me te whakahekenga: Whakanohoia te puna poraka CVD-SiC me te taputapu i roto i te oumu wera teitei me te whakarato i nga tikanga whakahekenga tika. Ko te tikanga o te whakamaaramatanga i te teitei o te pāmahana, ka huri tika te puna poraka mai i te totoka ki te ahua kohu, katahi ka whakamaarama ano i runga i te mata tïpako kia hanga he karaihe kotahi.
4. Te mana o te pāmahana: I te wa o te mahi whakaheke, me tika te whakahaere i te rōnaki pāmahana me te tohatoha pāmahana ki te whakatairanga i te whakaheke o te puna poraka me te tipu o nga tioata kotahi. Ka taea e te mana pāmahana tika te whakatutuki i te kounga o te karaihe pai me te tere tipu.
5. Te mana o te hau: I te wa o te mahi whakaheke, me whakahaere ano hoki te huru o te tauhohenga. Ko te hau korekore tino parakore (penei i te argon) ka whakamahia hei hau kawe hei pupuri i te pehanga tika me te ma, me te aukati i te poke o te poke.
6. Te tipu o te karaihe kotahi: Ko te puna poraka CVD-SiC ka uru ki te whakawhiti i te wahanga kohu i te wa o te tukanga sublimation me te whakahou ano i te mata o te taputapu ki te hanga i te hanganga karaihe kotahi. Ka taea te tipu tere o nga kiripiri kotahi SiC na roto i nga tikanga whakahekenga tika me te whakahaere rōnaki pāmahana.