Te hoe SiC Cantilever Ake mo te Tukatuka Wafer

Te hoe SiC Cantilever mo te Tukatuka Wafer Atahanga Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Advanced SiC Cantilever Paddle mo te Wafer Processing i whakarewahia e te vet-china e whakamahi ana i nga rauemi SiC hangarau teitei hei whakapai ake i te pai me te tika o te tukatuka wafer. Ko te hoe cantilever a Vet-china he tino pai te parenga wera me te parenga waikura, me te whakarite kia mau te mahi angiangi i roto i nga taiao whakangao kino, ka waiho hei whiringa pai mo te whakapai ake i nga hua whakangao.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Te MatamuaSiC Cantilever Hoemo te Tukatuka Wafer i hangaia e te vet-china he otinga pai mo te hanga semiconductor. Ko tenei hoe cantilever he mea hanga ki te SiC (silicon carbide), a na tona pakeketanga teitei me te atete wera ka taea e ia te pupuri i te mahi pai i roto i te pāmahana teitei me te taiao kino. Ko te hoahoa o te Cantilever Paddle ka taea te tautoko pono i te wafer i te wa e tukatuka ana, ka whakaiti i te tupono o te pakaruhanga me te pakaru.

SiC Cantilever Hoehe waahanga motuhake e whakamahia ana i roto i nga taputapu whakangao semiconductor penei i te oumu oxidation, te diffusion furnace, me te annealing oumu, ko te whakamahinga matua mo te uta angiangi me te wetewete, te tautoko me te kawe i nga wafers i roto i nga tukanga wera nui.

Nga hanganga noaoSiCcantileverpaddle: he hanga poupou, kua mau ki tetahi pito me te kore utu ki tetahi, he ahua papatahi me te ahua hoe.

Ko te VET Energy te whakamahi i nga rauemi carbide silicon carbide parakore teitei hei whakapumau i te kounga.

Nga ahuatanga tinana o Silicon Carbide Recrystallized
Taonga	Uara Angamaheni
Te pāmahana mahi (°C)	1600°C (me te hāora), 1700°C (whakaiti taiao)
ihirangi SiC	> 99.96%
Ko te ihirangi Si Free	< 0.1%
Kiato rahi	2.60-2.70 g/cm³
Ka kitea te porosity	< 16%
Te kaha kōpeketanga	> 600MPa
Te kaha piko o te makariri	80-90 MPa (20°C)
Te kaha piko wera	90-100 MPa (1400°C)
Te roha wera @1500°C	4.70 10^-6/°C
Te werawera @1200°C	23W/m•K
Kōwae rapa	240GPa
Te ātete ru werawera	Tino pai