Tantalum carbide mifono susceptor ho an'ny wafer

Famaritana fohy:

Semicera dia mpitarika amin'ny teknolojia fiarovana ara-materialy avo lenta ary mirehareha izahay manolotra vokatra vita amin'ny CVD Tantalum Carbide (TaC) mba hanomezana fiarovana avo lenta azo antoka ho an'ny substrate graphite anao.Ny graphite dia fitaovana mahatohitra hafanana avo lenta, saingy mora oxidation amin'ny hafanana avo, izay tsy azo ialana tanteraka na dia ao anaty lafaoro banga aza.Ny coating CVD Tantalum Carbide (TaC) dia afaka misoroka amin'ny fomba mahomby ny oksizenina amin'ny substrate graphite ary mitazona ny fahombiazany amin'ny hafanana ambony.Ny TaC koa dia akora tsy mihetsika izay mahatohitra ny fanehoan-kevitra amin'ny gaza toy ny argon sy hydrogen.Mifantoha amin'ny Semicera anio raha te hahalala bebe kokoa momba ireo susceptors EPI vita amin'ny Tantalum Carbide CVD mba hiantohana ny fahamarinan-toerana sy ny fahatokisana ny fampiharana amin'ny hafanana avo.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

TaC coating dia karazana tantalum carbide (TaC) coating nomanina tamin'ny alalan'ny teknolojia deposition etona ara-batana, manana ireto toetra manaraka ireto:

1. High hamafin'ny: TaC coating hamafin'ny avo, matetika mety hahatratra 2500-3000HV, dia tena mafy coating.

2. Manao fanoherana: Ny coating TaC dia tena mahatohitra ny akanjo, izay mety hampihena tsara ny akanjo sy ny fahasimban'ny faritra mekanika mandritra ny fampiasana.

3. Ny fanoherana ny hafanana avo tsara: Ny coating TaC dia afaka mitazona ny fahombiazany tsara amin'ny tontolo iainana ambony.

4. Filaminana simika tsara: Ny coating TaC dia manana fahamarinan-toerana simika tsara ary afaka manohitra ny fanehoan-kevitra simika maro, toy ny asidra sy ny fototra.

Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Toetra ara-batana ny TaC coating
密度/ Hateza	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissivité manokana	0.3
热膨胀系数 / Ny fanitarana hafanana	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Hardness (HK)	2000 HK
电阻 / Fanoherana	1×10^-5 ohm*cm
热稳定性 / Filaminana mafana	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Fiovana ny haben'ny grafita	-10~-20um
涂层厚度 / Hatevin'ny palitao	≥20um sanda mahazatra (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd dia orinasa teknolojia avo lenta mifantoka amin'ny famokarana sy fivarotana fitaovana avo lenta avo lenta, ny fitaovana sy ny teknolojia mandrakotra grafit, silisiôma carbide, seramika, fitsaboana amin'ny tany sy ny sisa.Ny vokatra dia be mpampiasa amin'ny photovoltaic, semiconductor, angovo vaovao, metallurgy, sns ..

Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.

Faly miarahaba anao hitsidika ny orinasa, andao hiresaka bebe kokoa!