SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers, Graphite Susceptors ho an'ny SiC Epitaxy

SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers, Graphite Susceptors for SiC Epitaxy Featured Image

Famaritana fohy:

Ny coating SiC amin'ny substrate Graphite ho an'ny fampiharana Semiconductor dia mamokatra ampahany amin'ny fahadiovana ambony sy fanoherana ny atmosfera oxidizing. Ny CVD SiC na CVI SiC dia ampiharina amin'ny Graphite amin'ny ampahany famolavolana tsotra na sarotra. Ny coating dia azo ampiharina amin'ny hateviny isan-karazany sy amin'ny ampahany lehibe.

Toerana niaviany:Zhejiang, Sina (Tanibe)

Laharana modely:Laharana modely:

Famoronana simika:SiC coated graphite

flexural hery:470Mpa

Conductivity mafana:300 W/mK

kalitao:tonga lafatra

Asa:CVD-SiC

Fampiharana:Semiconductor / Photovoltaic

Density:3,21 g/cc

Fanitarana mafana:4 10-6/K

lavenona: <5ppm

Santionany:Misy

Kaody HS:6903100000

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers， Graphite Susceptors forSiC Epitaxy,
Carbon manome susceptors, Epitaxy graphite susceptors, Ny substrate fanohanana grafit, MOCVD Susceptor, SiC Epitaxy, Wafer Susceptors,

Ny tombony manokana amin'ny susceptors graphite misy SiC dia ahitana ny fahadiovana avo dia avo, ny coating homogenous ary ny fiainana serivisy tsara. Izy ireo koa dia manana fanoherana simika avo lenta sy toetra mahatohitra hafanana.

Ny coating SiC amin'ny substrate Graphite ho an'ny fampiharana Semiconductor dia mamokatra ampahany amin'ny fahadiovana ambony sy fanoherana ny atmosfera oxidizing.
Ny CVD SiC na CVI SiC dia ampiharina amin'ny Graphite amin'ny ampahany famolavolana tsotra na sarotra. Ny coating dia azo ampiharina amin'ny hateviny isan-karazany sy amin'ny ampahany lehibe.

SiC coating/coated MOCVD Susceptor

Toetoetra:
· Tena tsara ny Thermal Shock Resistance
· Tena mahatohitra fahatafintohinana ara-batana
· Tena fanoherana simika
· Fahadiovana avo lenta
· Misy amin'ny endrika sarotra
· Azo ampiasaina amin'ny atmosfera oxidizing

Fampiharana:

Toetra mahazatra amin'ny fitaovana grafita fototra:

Ny hakitroky hita maso:	1,85 g/cm3
Ny fanoherana elektrika:	11 μΩm
Henjana flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Hamafin'ny morontsiraka:	58
lavenona:	<5ppm
Thermal Conductivity:	116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

Carbon manome susceptorsary singa grafita ho an'ny reactors epitaxy amin'izao fotoana izao. Ny portfolio-nay dia ahitana ny susceptors barika ho an'ny singa ampiharina sy LPE, ny pancake susceptors ho an'ny LPE, CSD, ary Gemini, ary ny wafer tokana ho an'ny ampiasaina sy ny ASM unit. manolotra ny endrika tsara indrindra ho an'ny fampiharanao.