Araka ny aseho etsy ambony, dia mahazatra
Ny tapany voalohany:
Element fanafanana (coil fanafanana): hita manodidina ny fantsona fatana fandoroana, matetika vita amin'ny tariby fanoherana, ampiasaina hanafanana ny ao anatin'ny fantsona fatana fandoroana.
Quartz Tube: Ny ivon'ny lafaoro mafana oxidation, vita amin'ny quartz madio tsara izay mahatanty ny mari-pana ambony ary mijanona amin'ny zavatra simika.
Famahanana entona: Any amin'ny ambony na amin'ny sisin'ny fantsona fatana, dia ampiasaina hitaterana oksizenina na entona hafa mankany amin'ny ao anatin'ny fantsona fatana.
SS Flange: singa mampifandray fantsona quartz sy tsipika entona, miantoka ny henjana sy ny fahamarinan'ny fifandraisana.
Gas Feed Lines: fantsona mampifandray ny MFC amin'ny seranan-tsambo famatsiana entona ho an'ny fandefasana entona.
MFC (Mass Flow Controller) : Fitaovana mifehy ny fikorianan'ny entona ao anatin'ny fantsona quartz mba hifehy tsara ny habetsahan'ny entona ilaina.
Vent: Ampiasaina amin'ny famoahana ny entona setroka avy ao anatin'ny fantsona lafaoro mankany ivelan'ny fitaovana.
Ampahany ambany
Silicon Wafers in Holder: Ny wafers silikon dia apetraka ao anaty fitoerana manokana mba hiantohana ny hafanana mafana mandritra ny oxidation.
Wafer Holder: Ampiasaina mba hitazonana ny wafer silisiôma ary hiantohana fa ny wafer silisiôma dia mijanona ho miorina mandritra ny dingana.
Pedestal: Rafitra iray mihazona fitoeran'entana silisiôma, matetika vita amin'ny akora mahatohitra hafanana.
Ascenseur: Ampiasaina hampiakatra ireo mpihazona Wafer hiditra sy hivoaka amin'ny fantsona quartz ho an'ny fandefasana mandeha ho azy sy fampidinana ny wafers silisiôma.
Wafer Transfer Robot: hita eo amin'ny sisin'ny fitaovana fantsona fatana fandoroana, dia ampiasaina hanesorana ho azy ny wafer silisiôma avy ao anaty boaty ary apetraho ao anaty lafaoro fantsona, na esorina aorian'ny fanodinana.
Carousel fitahirizana kasety: Carousel fitehirizana kasety dia ampiasaina hitahirizana boaty misy wafer silisiôna ary azo ahodina ho an'ny fidirana robot.
Wafer Cassette: kasety wafer dia ampiasaina hitahirizana sy hamindrana ny wafers silisiôma hokarakaraina.
Fotoana fandefasana: Apr-22-2024