1. Fanekena alohan'ny hanadiovana
1) Rehefa nyNy sambo graphite PECVD/ Carrier dia ampiasaina mihoatra ny in-100 ka hatramin'ny 150, ny mpandraharaha dia mila manamarina ny toetry ny coating ara-potoana. Raha misy coating tsy ara-dalàna dia mila diovina sy hamafisina. Manga ny lokon'ny fanosotra mahazatra amin'ny wafer silisiôma ao amin'ny sambo / mpitatitra graphite. Raha toa ka tsy manga, maro loko ny wafer, na ny fahasamihafana loko eo amin'ny wafers dia lehibe, dia coating tsy ara-dalàna izany, ary mila voamarina ara-potoana ny antony mahatonga ny tsy mety.
2) Aorian'ny fizotran'ny mpiasa dia mandinika ny toetry ny coating nyNy sambo graphite PECVD/ Carrier, izy ireo no hamaritra raha mila diovina ny sambo graphite ary tokony hosoloina ny teboka karatra, ary ny sambo / mpitatitra graphite izay mila diovina dia hatolotra ny mpiasan'ny fitaovana hanadiovana.
3) Taorian'nysambo grafita/ simba ny mpitatitra, esorin'ny mpiasan'ny famokarana ireo akora silisiôma rehetra ao anaty sambo grafita ary hampiasa CDA (rivotra voaporitra) handaminana ireo sombintsombiny ao amin'nysambo grafita. Rehefa vita, ny mpiasan'ny fitaovana dia hampiakatra azy ao anaty tankina asidra izay efa nomanina miaraka amin'ny ampahany amin'ny vahaolana HF ho fanadiovana.
2. Fanadiovana ny sambo graphite
Tsara ny mampiasa vahaolana asidra hydrofluoric 15-25% ho an'ny fanadiovana telo fihodinana, isaky ny adiny 4-5, ary miboiboika tsindraindray mandritra ny dingan'ny fandevenana sy ny fanadiovana, manampy ny fanadiovana antsasak'adiny; Fanamarihana: tsy soso-kevitra ny hampiasa rivotra mivantana ho loharanon'ny entona miboiboika. Aorian'ny famafazana dia kobanina amin'ny rano madio mandritra ny adiny 10 eo ho eo, ary hamarino fa voadio tsara ilay sambo. Aorian'ny fanadiovana dia jereo azafady ny endrik'ilay sambo, ny teboka karatra grafit ary ny tobin'ny sambo, ary ny ampahany hafa mba hahitana raha misy sisa tavela amin'ny nitride silisiôma. Dia maina araka ny fepetra.
3. Fiarovana amin'ny fanadiovana
A) Satria ny asidra HF dia akora manimba be ary misy fiovaovan'ny toetrandro, mampidi-doza ho an'ny mpandraharaha izany. Noho izany, ny mpandraharaha eo amin'ny toerana fanadiovana dia tsy maintsy mandray fepetra fiarovana ary olona manokan-tena no mitantana azy.
B) Aroso ny disassemble ny sambo ary manadio ny ampahany amin'ny graphite ihany mandritra ny fanadiovana, mba hodiovina tsara kokoa ny ampahany mifandray tsirairay. Amin'izao fotoana izao, mpanamboatra an-trano maro no mampiasa fanadiovana ankapobeny, izay mety, fa satria ny asidra HF dia manimba ny ampahany seramika, ny fanadiovana amin'ny ankapobeny dia hanafohy ny fiainan'ny serivisy mifandraika amin'izany.
Fotoana fandefasana: Dec-23-2024