Ao amin'ny fizotran'ny fitomboan'ny kristaly silisiôma tokana, ny fitaterana etona ara-batana no fomba indostrialy mahazatra ankehitriny. Ho an'ny fomba fitomboan'ny PVT,vovoka silisiôma carbidemanana fiantraikany lehibe eo amin`ny fizotry ny fitomboana. Parameter rehetra an'nyvovoka silisiôma carbidemivantana dia misy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny kristaly tokana sy ny fananana elektrika. Amin'ny fampiharana indostrialy amin'izao fotoana izao, ny fampiasa matetikavovoka silisiôma carbidesynthesis dingana dia ny tena mampiely hafanana ambony synthesis fomba.
Ny fomba synthesis hafanana avo-tena mampiely hafanana dia mampiasa hafanana avo mba hanomezana hafanana voalohany ny reactants hanombohana ny fanehoan-kevitra simika, ary avy eo dia mampiasa ny hafanana fanehoan-kevitra simika azy mba hamela ireo akora tsy mihetsika hanohy hamita ny fanehoan-kevitra simika. Na izany aza, satria ny fanehoan-kevitry ny Si sy C dia mamoaka hafanana kely kokoa, dia tsy maintsy ampiana ireo reactants hafa mba hitazonana ny fanehoan-kevitra. Noho izany, manam-pahaizana maro no nanolo-kevitra ny fomba synthesis fampielezam-tena nohatsaraina amin'ity fototra ity, mampiditra activator. Ny fomba fampielezana tena dia mora ampiharina, ary ny masontsivana synthesis isan-karazany dia mora fehezina. Ny synthesis lehibe dia mahafeno ny filan'ny indostrialy.
Tany am-piandohan'ny taona 1999, Bridgeport dia nampiasa ny fomba synthesis amin'ny mari-pana ambony amin'ny fampielezam-tena mba hanambatra.vovoka SiC, fa nampiasa ethoxysilane sy phenol resin ho akora fototra, izay lafo vidy. Gao Pan sy ny hafa dia nampiasa vovoka Si madio sy vovoka C ho fitaovana manta ho an'ny synthesizevovoka SiCamin'ny fihetsiketsehan'ny hafanana ambony ao anaty atmosfera argon. Nanomana potikely lehibe i Ning Linavovoka SiCamin'ny synthesis faharoa.
Ny lafaoro fanafanana induction induction midadasika novolavolain'ny Second Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation dia mampifangaro ny vovon-tsavony sy ny vovoka karbônina amin'ny tahan'ny stoichiometric sasany ary mametraka azy ireo ao anaty koveta graphite. nygraphite crucibledia apetraka ao anaty lafaoro fanafanana induction antonony ho an'ny fanafanana, ary ny fiovan'ny mari-pana dia ampiasaina mba synthesize sy hanova ny mari-pana ambany sy ny hafanana ambony dingana silisiôma carbide tsirairay avy. Koa satria ny mari-pana ny β-SiC synthesis fanehoan-kevitra ao amin'ny dingana ambany-mari-pana dia ambany noho ny volatilization mari-pana ny Si, ny synthesis ny β-SiC ambanin'ny banga avo dia afaka miantoka tsara ny tena fampielezana. Ny fomba fampidirana gazy argon, hydrogène ary HCl amin'ny synthesis ny α-SiC dia manakana ny fanimbana nyvovoka SiCamin'ny dingana avo lenta, ary afaka mampihena tsara ny votoatin'ny azota ao amin'ny vovoka α-SiC.
Shandong Tianyue dia nanamboatra lafaoro synthesis, mampiasa entona silane ho akora vita amin'ny silisiôma sy vovoka karbônina ho fitaovana manta karbaona. Ny habetsaky ny entona manta nampidirina dia novaina tamin'ny alàlan'ny fomba synthesis dingana roa, ary ny haben'ny sombin-tsolika silisiôma vita amin'ny farany dia eo anelanelan'ny 50 sy 5 000 um.
1 Fanaraha-maso ny dingana synthesis vovoka
1.1 Ny fiantraikan'ny haben'ny poti-tany amin'ny fitomboan'ny kristaly
Ny haben'ny ampahany amin'ny vovoka silisiôma carbide dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fitomboan'ny kristaly tokana manaraka. Ny fitomboan'ny kristaly SiC tokana amin'ny fomba PVT dia tratra indrindra amin'ny fanovana ny tahan'ny molar ny silisiôma sy ny karbaona ao amin'ny singa entona entona, ary ny tahan'ny molar ny silisiôma sy ny karbaona ao amin'ny singa entona entona dia mifandray amin'ny haben'ny ampahany amin'ny vovoka silisiôma carbide. . Ny fanerena tanteraka sy ny tahan'ny silisiôma-karbonina amin'ny rafitra fitomboana dia mitombo miaraka amin'ny fihenan'ny haben'ny ampahany. Rehefa mihena ny haben'ny poti amin'ny 2-3 mm ka hatramin'ny 0,06 mm, ny tahan'ny silisiôma-karbonina dia mitombo amin'ny 1,3 ka hatramin'ny 4,0. Rehefa kely ny poti amin'ny lafiny iray, dia mitombo ny tsindry ampahany Si, ary misy sosona sarimihetsika Si miforona eo ambonin'ny kristaly mitombo, mandrisika ny fitomboan'ny entona-ranoka, izay misy fiantraikany amin'ny polymorphism, ny kilema amin'ny teboka ary ny kilema tsipika. amin'ny kristaly. Noho izany, ny haben'ny ampahany amin'ny vovoka silisiôma carbide madio dia tsy maintsy fehezina tsara.
Ankoatra izany, rehefa somary kely ny haben'ny vovon-tsavony SiC, dia mihalevona haingana kokoa ny vovoka, ka miteraka fitomboan'ny kristaly tokana SiC. Amin'ny lafiny iray, ao amin'ny tontolo iainana avo lenta amin'ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC, ny dingana roa amin'ny synthesis sy ny fanimbana dia atao miaraka. Ny vovobony karbida silikônika dia hanimba sy hamorona karbaona amin'ny dingan'ny gazy sy ny dingana mafy toy ny Si, Si2C, SiC2, ka miteraka karbônina lehibe amin'ny vovo-polycrystalline sy ny fananganana ny fampidirana karbaona ao amin'ny kristaly; Amin'ny lafiny iray, rehefa somary haingana ny tahan'ny fahapotehan'ny vovoka, ny firafitry ny kristaly amin'ny kristaly tokana SiC efa lehibe dia mora miova, ka sarotra ny mifehy ny kalitaon'ny kristaly tokana SiC mitombo.
1.2 Ny fiantraikan'ny endrika kristaly vovoka amin'ny fitomboan'ny kristaly
Ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC amin'ny fomba PVT dia dingana sublimation-recrystallization amin'ny hafanana avo. Ny endrika kristaly amin'ny akora manta SiC dia manana fiantraikany lehibe amin'ny fitomboan'ny kristaly. Ao amin'ny dingan'ny synthesis vovoka, ny dingana synthesis ambany mari-pana (β-SiC) miaraka amin'ny firafitry ny toratelo ny sela vondrona sy ny mari-pana ambony synthesis dingana (α-SiC) miaraka amin'ny rafitra hexagonal ny vondrona vondrona no tena hamokatra. . Misy endrika kristaly karbida silisiôma maro ary faritra fanaraha-maso ny hafanana tery. Ohatra, 3C-SiC dia hiova ho hexagonal silisiôma carbide polymorph, izany hoe 4H/6H-SiC, amin'ny mari-pana mihoatra ny 1900 ° C.
Nandritra ny dingan'ny fitomboan'ny kristaly tokana, rehefa ampiasaina amin'ny fampitomboana kristaly ny vovoka β-SiC, ny tahan'ny molar silisiôma-karbonina dia lehibe kokoa noho ny 5.5, raha ny vovobony α-SiC no ampiasaina amin'ny fampitomboana kristaly, ny tahan'ny molara silisiôma-karbonina dia 1.2. Rehefa miakatra ny mari-pana dia misy fifindran'ny dingana ao amin'ny crucible. Amin'izao fotoana izao, ny tahan'ny molar amin'ny dingan'ny entona dia lasa lehibe kokoa, izay tsy mety amin'ny fitomboan'ny kristaly. Fanampin'izany, ny loto hafa amin'ny dingan'ny entona, anisan'izany ny karbônina, ny silisiôma ary ny dioksida silisiôma, dia mora avoaka mandritra ny dingana tetezamita. Ny fisian'ireo loto ireo dia mahatonga ny kristaly hiteraka microtubes sy voids. Noho izany, ny endriky ny kristaly vovoka dia tsy maintsy fehezina tsara.
1.3 Ny fiantraikan'ny loto vovoka amin'ny fitomboan'ny kristaly
Ny votoatin'ny loto ao amin'ny vovobony SiC dia misy fiantraikany amin'ny nucleation mandeha ho azy mandritra ny fitomboan'ny kristaly. Arakaraka ny avoakan'ny atiny loto no tsy dia azo inoana fa ho nokleary ho azy ny kristaly. Ho an'ny SiC, ny loto metaly lehibe dia ahitana ny B, Al, V, ary Ni, izay mety hampidirina amin'ny alàlan'ny fitaovana fanodinana mandritra ny fanodinana ny vovoka silisiôma sy ny vovoka karbona. Anisan'izany, B sy Al no tena marivo haavon'ny angovo mpandray loto ao amin'ny SiC, niteraka ny fihenan'ny SiC resistivity. Ny loto metaly hafa dia hampiditra haavon'ny angovo maro, ka miteraka fananana elektrika tsy miovaova amin'ny kristaly tokana SiC amin'ny hafanana avo, ary misy fiantraikany lehibe kokoa amin'ny fananana elektrika amin'ny substrate kristaly semi-insulating madio indrindra, indrindra ny fanoherana. Noho izany, ny vovoka silisiôma carbide madio indrindra dia tsy maintsy atambatra araka izay azo atao.
1.4 Ny fiantraikan'ny votoatin'ny azota amin'ny vovoka amin'ny fitomboan'ny kristaly
Ny haavon'ny atiny azota dia mamaritra ny fanoherana ny substrate kristaly tokana. Ny mpanamboatra lehibe dia mila manitsy ny fifantohana doping azota amin'ny akora synthetic araka ny fizotran'ny fitomboan'ny kristaly matotra mandritra ny synthesis vovoka. Ny substrate krystaly tokana semi-insulating semi-insulating silisiôma tokana no fitaovana mampanantena indrindra ho an'ny singa elektronika fototra ara-tafika. Mba hambolena substrate kristaly tokana semi-insulating madio tsara miaraka amin'ny fanoherana avo lenta sy fananana elektrika tsara dia tsy maintsy fehezina amin'ny ambaratonga ambany ny votoatin'ny azota maloto lehibe ao amin'ny substrate. Ny substrate krystaly tokana conductive dia mitaky votoaty azota hofehezina amin'ny fifantohana avo lenta.
2 Teknolojia fanaraha-maso fototra ho an'ny synthesis vovoka
Noho ny tontolo fampiasana samihafa ny substrate silisiôma carbide, ny teknolojia synthesis ho an'ny vovobony mitombo dia manana dingana samihafa ihany koa. Ho an'ny vovobony fitomboan'ny kristaly tokana N-karazana, ilaina ny fahadiovana avo lenta sy ny dingana tokana; fa ho an'ny vovobony fitomboan'ny kristaly semi-insulating dia ilaina ny fanaraha-maso hentitra ny votoatin'ny azota.
2.1 Fanaraha-maso ny haben'ny sombin-tany
2.1.1 Temperature synthesis
Ny fitazonana ny fepetran'ny dingana hafa tsy miova, ny vovobony SiC vokarina amin'ny mari-pana synthesis amin'ny 1900 ℃, 2000 ℃, 2100 ℃ ary 2200 ℃ dia natao santionany sy nodinihina. Araka ny asehon'ny sary 1, dia hita fa ny haben'ny poti dia 250 ~ 600 μm amin'ny 1900 ℃, ary ny haben'ny poti dia mitombo ho 600 ~ 850 μm amin'ny 2000 ℃, ary ny haben'ny poti dia miova be. Rehefa mitombo hatrany ny mari-pana amin'ny 2100 ℃, ny haben'ny poti amin'ny vovony SiC dia 850 ~ 2360 μm, ary ny fitomboana dia malemy. Ny haben'ny ampahany amin'ny SiC amin'ny 2200 ℃ dia miorina amin'ny 2360 μm eo ho eo. Ny fiakaran'ny mari-pana synthesis avy amin'ny 1900 ℃ dia misy fiantraikany tsara amin'ny haben'ny singa SiC. Rehefa mitombo hatrany ny mari-pana synthesis hatramin'ny 2100 ℃ dia tsy miova intsony ny haben'ny poti. Noho izany, rehefa apetraka amin'ny 2100 ℃ ny mari-pana synthesis, ny habe lehibe kokoa dia azo atambatra amin'ny fanjifana angovo ambany kokoa.
2.1.2 Fotoana synthesis
Ny fepetran'ny dingana hafa dia tsy miova, ary ny fotoana synthesis dia napetraka ho 4 ora, 8 ora, ary 12 ora. Ny famakafakana santionany vovobony SiC dia aseho amin'ny sary 2. Hita fa ny fotoana synthesis dia misy fiantraikany lehibe amin'ny haben'ny ampahany amin'ny SiC. Rehefa 4 h ny fotoana synthesis, ny haben'ny poti dia zaraina indrindra amin'ny 200 μm; rehefa 8 h ny fotoana synthesis, mitombo be ny haben'ny poti-synthetic, izay zaraina indrindra amin'ny 1 000 μm; rehefa mitombo ny fotoana synthesis, mitombo bebe kokoa ny haben'ny poti, izay zaraina indrindra amin'ny 2 000 μm.
2.1.3 Ny fiantraikan'ny haben'ny akora manta
Rehefa mihatsara tsikelikely ny rojo famokarana akora silisiôna ao an-toerana, dia mihatsara ihany koa ny fahadiovan'ny akora silisiôna. Amin'izao fotoana izao, ny fitaovana silisiôma ampiasaina amin'ny synthesis dia mizara ho silisiôma granular sy silisiôma vovoka, araka ny aseho amin'ny sary 3.
Akora manta silisiôma samihafa no nampiasaina hanaovana andrana synthesis carbide silisiôma. Ny fampitahana ny vokatra sentetika dia aseho amin'ny sary 4. Ny fanadihadiana dia mampiseho fa rehefa mampiasa akora silisiôma sakana, dia misy singa Si be dia be ao amin'ny vokatra. Aorian'ny fanindroany ny sakana silisiôma dia mihena be ny singa Si ao amin'ny vokatra sentetika, saingy mbola misy izany. Farany, vovoka silisiôma no ampiasaina amin'ny synthesis, ary SiC ihany no misy ao amin'ny vokatra. Izany dia satria ao amin'ny dingan'ny famokarana, ny silisiôma granular lehibe dia mila mandalo fanehoan-kevitra momba ny synthesis voalohany, ary ny karbida silisiôma dia novolavolaina eny ambonin'ny tany, izay manakana ny vovoka Si anatiny tsy hitambatra amin'ny vovoka C. Noho izany, raha silisiôma sakana no ampiasaina ho akora, dia mila potipotika ary avy eo iharan'ny dingana synthesis faharoa mba hahazoana vovoka silisiôma carbide ho an'ny fitomboan'ny kristaly.
2.2 Fanaraha-maso endrika kristaly vovoka
2.2.1 Ny fiantraikan'ny mari-pana synthesis
Ny fitazonana fepetra hafa tsy miova, ny mari-pana synthesis dia 1500 ℃, 1700 ℃, 1900 ℃, ary 2100 ℃, ary ny vovoka SiC vokarina dia santionany sy nodinihina. Araka ny aseho amin'ny sary 5, ny β-SiC dia mavo mavo, ary ny α-SiC dia maivana kokoa ny loko. Amin'ny fandinihana ny loko sy ny morphologie ny vovobony synthesized, dia azo faritana fa ny vokatra synthesized dia β-SiC amin'ny mari-pana 1500 ℃ sy 1700 ℃. Amin'ny 1900 ℃, mihamaivana ny loko, ary mipoitra ny poti-hexagonal, izay manondro fa aorian'ny fiakaran'ny mari-pana amin'ny 1900 ℃, dia misy fifindran'ny dingana, ary ny ampahany amin'ny β-SiC dia miova ho α-SiC; rehefa miakatra hatrany amin'ny 2100 ℃ ny mari-pana, dia hita fa mangarahara ireo poti-javatra voafantina, ary niova fo ny α-SiC.
2.2.2 Ny vokatry ny fotoana synthesis
Ny fepetran'ny dingana hafa dia tsy miova, ary ny fotoana synthesis dia napetraka ho 4h, 8h, ary 12h, tsirairay avy. Ny vovoka SiC vokarina dia santionany sy nodinihina amin'ny diffractometer (XRD). Ny vokatra dia aseho amin'ny sary 6. Ny fotoana synthesis dia misy fiantraikany amin'ny vokatra novolavolain'ny vovo-siC. Rehefa 4 h sy 8 h ny fotoana synthesis, ny vokatra synthetic dia 6H-SiC indrindra; rehefa 12 h ny fotoana synthesis dia miseho amin'ny vokatra ny 15R-SiC.
2.2.3 Ny fiantraikan'ny tahan'ny akora
Ny dingana hafa dia tsy miova, ny habetsahan'ny akora silisiôma-karbonina dia dinihina, ary ny tahan'ny dia 1.00, 1.05, 1.10 ary 1.15 ho an'ny fanandramana synthesis. Ny vokatra dia aseho amin'ny sary 7.
Avy amin'ny spektrum XRD dia hita fa rehefa lehibe noho ny 1.05 ny tahan'ny silisiôma-karbonina dia miseho ao amin'ny vokatra ny Si be loatra, ary rehefa latsaky ny 1.05 ny tahan'ny silisiôma-karbonina dia miseho ny C tafahoatra. Rehefa 1.05 ny tahan'ny silisiôma-karbonina, ny karbaona maimaim-poana ao amin'ny vokatra synthetic dia esorina amin'ny ankapobeny, ary tsy misy silisiôma maimaim-poana. Noho izany, ny habetsaky ny tahan'ny silisiôma-karbonina dia tokony ho 1.05 mba hamoronana SiC madio tsara.
2.3 Fanaraha-maso ny votoatin'ny azota ambany ao anaty vovoka
2.3.1 Akora sintetika
Ny akora ampiasaina amin'ity andrana ity dia vovoka karbônina madio tsara sy vovoka silisiôma madio tsara miaraka amin'ny savaivony mediana 20 μm. Noho ny haben'ny potiny kely sy ny velaran-tany manokana lehibe, dia mora mandray ny N2 eny amin'ny rivotra izy ireo. Rehefa synthesize ny vovoka, dia ho entina amin'ny endrika kristaly ny vovoka. Ho an'ny fitomboan'ny kristaly N-karazana, ny doping tsy mitovy amin'ny N2 amin'ny vovoka dia mitarika ho amin'ny fanoherana tsy mitovy amin'ny kristaly ary na dia ny fiovan'ny endrika kristaly aza. Ny votoatin'ny azota ao amin'ny vovobony voarafitra aorian'ny fampidirana ny hydrogène dia ambany dia ambany. Izany dia satria kely ny habetsahan'ny molekiola hidrôzenina. Rehefa ny N2 adsorbed ao amin'ny vovoka karbaona sy silisiôma vovoka dia mafana sy simba avy amin'ny ambonin'ny, H2 diffuses tanteraka ao amin'ny hantsana eo amin'ny vovoka miaraka amin'ny boky kely, manolo ny toerana ny N2, ary N2 afa-mandositra avy amin'ny crucible nandritra ny banga dingana, fanatrarana ny tanjona hanesorana ny atiny azota.
2.3.2 Dingan'ny synthesis
Nandritra ny synthesis ny silisiôma carbide vovoka, satria ny radius ny karbônina sy ny azota ataoma dia mitovy, azota dia hanolo ny karbônina banga ao amin'ny silisiôma carbide, ka hampitombo ny azota afa-po. Ity dingana andrana ity dia mampiasa ny fomba fampidirana H2, ary ny H2 dia mihetsika amin'ny singa karbônina sy silisiôma ao amin'ny crucible synthesis mba hamokarana gazy C2H2, C2H, ary SiH. Mitombo ny votoatin'ny singa karbaona amin'ny alàlan'ny fifindran'ny gazy, ka mampihena ny fahabangan'ny karbaona. Tanteraka ny tanjon'ny fanesorana azota.
2.3.3 Fanaraha-maso ny votoatin'ny azota ao ambadika
Graphite crucibles amin'ny porosity lehibe dia azo ampiasaina ho fanampiny C loharanon-karena mba handrakotra ny etona Si ao amin'ny entona singa singa, hampihena ny Si ao amin'ny entona dingana singa, ary noho izany dia mampitombo C/Si. Amin'izany fotoana izany, ny crucibles graphite dia afaka mihetsika amin'ny atmosfera Si ihany koa mba hamokatra Si2C, SiC2 ary SiC, izay mitovy amin'ny atmosfera Si mitondra loharano C avy amin'ny crucible graphite ho ao amin'ny atmosfera mitombo, mampitombo ny tahan'ny C, ary mampitombo ny tahan'ny karbônina-silika. . Noho izany, ny tahan'ny karbaona-silikonina dia azo ampitomboina amin'ny alàlan'ny fampiasana grafit crucibles amin'ny porosity lehibe, mampihena ny fahabangan'ny karbônina, ary manatratra ny tanjona amin'ny fanesorana azota.
3 Famakafakana sy famolavolana ny dingana synthesis vovoka kristaly tokana
3.1 Fitsipika sy famolavolana ny fizotran'ny synthesis
Amin'ny alàlan'ny fandalinana feno voalaza etsy ambony momba ny fanaraha-maso ny haben'ny poti, ny endrika kristaly ary ny votoatin'ny azota amin'ny synthesis vovoka, dia aroso ny dingana synthesis. Voafantina ny vovony C sy ny vovony Si amin'ny fahadiovana avo, ary afangaro tsara izy ireo ary ampidirina ao anaty koveta grafit araka ny tahan'ny silisiôma-karbonina 1,05. Ny dingana dingana dia mizara ho dingana efatra indrindra:
1) Low-temperature denitrification dingana, vacuuming amin'ny 5 × 10-4 Pa, avy eo ny fampidirana hydrogène, manao ny efi-trano fanerena tokony ho 80 kPa, mihazona ny 15 minitra, ary miverimberina in-efatra. Ity dingana ity dia afaka manala ny singa azota amin'ny vovon'ny karbônina sy ny vovoka silisiôma.
2) Ny dingana denitrification amin'ny mari-pana ambony, ny vacuuming amin'ny 5 × 10-4 Pa, avy eo ny hafanana amin'ny 950 ℃, ary avy eo ny fampidirana hydrogène, ny fanerena ny efitrano eo amin'ny 80 kPa, mitazona 15 min, ary miverimberina in-efatra. Ity dingana ity dia afaka manala ny singa azota eo amin'ny eny ambonin'ny vovoka karbônina sy ny vovoka silisiôma, ary mitondra ny azota amin'ny sehatry ny hafanana.
3) Synthesis ny dingana dingana mari-pana ambany, miala amin'ny 5 × 10-4 Pa, dia hafanaina ho 1350 ℃, tehirizo mandritra ny 12 ora, dia ampidiro ny hydrogène mba hahatonga ny efi-trano fanerena tokony ho 80 kPa, tehirizo mandritra ny 1 ora. Ity dingana ity dia afaka manala ny azota mivaingana mandritra ny fizotran'ny synthesis.
4) Synthesis ny dingana dingana mari-pana ambony, fenoy amin'ny entona boky mikoriana tahan'ny ny fahadiovana ambony hydrogène sy argon mifangaro entona, manao ny efi-trano fanerena tokony ho 80 kPa, atsangano ny mari-pana ho 2100 ℃, tehirizo mandritra ny 10 ora. Ity dingana ity dia mamita ny fiovan'ny vovoka silisiôma karbida avy amin'ny β-SiC mankany α-SiC ary mameno ny fitomboan'ny poti-kristaly.
Farany, andraso ny mari-pana ao amin'ny efitrano mba hihena amin'ny mari-pana, fenoy ny tsindry amin'ny atmosfera, ary esory ny vovoka.
3.2 Fizotry ny fanodinana vovoka
Aorian'ny fampifangaroana ny vovony amin'ny dingana etsy ambony, dia tsy maintsy amboarina izy io mba hanesorana ny karbaona maimaim-poana, silisiôma ary ny loto metaly hafa ary manara-maso ny haben'ny poti. Voalohany, apetraka ao anaty fitoeram-bolan'ny baolina ny vovobony vita amin'ny sintetika, ary apetraka ao anaty lafaoro muffle ny vovon-tsolika silisiôma voatoto ary afanaina amin'ny 450 ° C amin'ny oksizenina. Ny karbaona maimaim-poana ao amin'ny vovoka dia oksidin'ny hafanana mba hamokarana gazy karbonika mivoaka avy ao amin'ny efitrano, ka hahatratrarana ny fanesorana karbaona maimaim-poana. Aorian'izay, misy ranon-javatra fanadiovana asidra voaomana ary apetraka ao anaty milina mpanadio potikely karbida silisiôma mba hanadiovana hanesorana ny karbaona, silisiôma ary metaly sisa tavela mandritra ny fizotran'ny synthesis. Aorian'izay, ny asidra sisa tavela dia sasana amin'ny rano madio ary maina. Ny vovoka maina dia voasivana amin'ny efijery mihozongozona mba hisafidianana ny haben'ny sombin-javatra ho an'ny fitomboan'ny kristaly.
Fotoana fandefasana: Aug-08-2024