MOCVD Graphite Carrier miaraka amin'ny CVD SiC Coating

Famaritana fohy:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor dia vokatra avo lenta natao hanomezana fampisehoana tsy miovaova sy azo itokisana mandritra ny fotoana maharitra. Izy io dia manana fanoherana hafanana tsara sy hafanana mafana, fahadiovana avo, fanoherana ny erosion, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra ho an'ny fampiharana fanodinana wafer.

 


Product Detail

Tags vokatra

SiC coated graphite susceptor dia singa fototra ampiasaina amin'ny dingana famokarana semiconductor isan-karazany. mampiasa ny teknolojia patanty izahay mba hahatonga ny susceptor amin'ny fahadiovana faran'izay tsara, ny fanamiana coating tsara ary ny fiainana fanompoana tsara, ary koa ny fanoherana simika avo sy ny toetrandro mafana.

6

Endriky ny vokatray:

1. Avo fanoherana oxidation ny mari-pana hatramin'ny 1700 ℃.
2. Ny fahadiovana ambony sy ny fitovian'ny hafanana
3. Tena fanoherana harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.

4. Ny hamafin'ny avo, matevina ambonin'ny, poti tsara.
5. fiainana lava kokoa sy maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能

Toetra ara-batana fototra amin'ny CVD SiCcoating

性质 / Fananana

典型数值 / Sanda mahazatra

晶体结构 / Rafitra kristaly

FCC β phase多晶,主要为(111)取向

密度 / Hateza

3,21 g/cm³

硬度 / Hafàna

2500 维氏硬度(500g entana)

晶粒大小 / Ny voamaina

2~10μm

纯度 / Fahadiovana simika

99.99995%

热容 / Hafanana

640 kg-1·K-1

升华温度 / Temperature Sublimation

2700 ℃

抗弯强度 / Hery flexural

415 MPa RT 4 teboka

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt fiondrika, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductivity

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Fanitarana Thermal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Ny VET Energy no tena mpanamboatra ny vokatra vita amin'ny grafit sy silisiôma carbide miaraka amin'ny loko isan-karazany toa ny SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, sns.

Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.

Tsy mitsahatra mamolavola dingana mandroso izahay mba hanomezana fitaovana mandroso kokoa, ary nanamboatra teknolojia vita amin'ny patanty manokana, izay mety hahatonga ny fatorana eo amin'ny coating sy ny substrate ho henjana kokoa ary tsy dia mora simba.

Faly miarahaba anao hitsidika ny orinasa, andao hiresaka bebe kokoa!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • teo aloha:
  • Manaraka:

  • WhatsApp Chat an-tserasera!