VET EnergyPECVD process graphite carrier dia avo lenta azo ampiasaina ho an'ny PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ity mpitatitra graphite ity dia vita amin'ny fitaovana grafit avo lenta, avo lenta, miaraka amin'ny fanoherana ny hafanana ambony, ny fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana ary ny toetra hafa, dia afaka manome sehatra mpitatitra maharitra ho an'ny fizotran'ny PECVD, mba hiantohana ny fitoviana sy ny fahamendrehan'ny sarimihetsika manify. déposition.
Ireo mpitatitra grafita ho an'ny fizotran'ny PECVD dia manana ireto toetra manaraka ireto:
▪ Fahadiovana ambony: ambany dia ambany ny loto, misoroka ny fandotoana ny sarimihetsika ary miantoka ny kalitaon'ny sarimihetsika.
▪ hakitroky avo: hakitroky avo, hery mekanika avo lenta, mahazaka hafanana ambony sy tosidra ambony PECVD tontolo iainana.
▪ Toetra tsara: fiovana kely amin'ny mari-pana ambony, miantoka ny fahamarinan'ny fizotrany.
▪ Conductivity mafana tsara: mamindra hafanana tsara mba hisorohana ny hafanana be loatra.
▪ Mahatohitra harafesina matanjaka: mahatohitra ny erosiation amin'ny entona manimba isan-karazany sy ny plasma.
▪ Serivisy namboarina: azo amboarina araka ny filan'ny mpanjifa ny mpitatitra grafita samy hafa habe sy endrika.
Fitaovana grafita avy amin'ny SGL:
Parameter mahazatra: R6510 | |||
Fanondroana | Fenitra fitsapana | sarobidy | Unit |
Salanisan'ny voamadinika | ISO 13320 | 10 | μm |
hakitroky betsaka | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Open porosity | DIN66133 | 10 | % |
Haben'ny pore antonony | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeability | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell hamafin'ny HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Ny fanoherana elektrika manokana | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Hery flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Hery fanerena | DIN 51910 | 130 | MPa |
Ny modulus Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Ny fanitarana mafana (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Conductivity mafana (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Izy io dia natao manokana ho an'ny famokarana sela solar mahomby, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny famolavolan'ny mpitatitra efa nohatsaraina dia mampitombo be ny fivezivezena, manome ny taham-pamokarana avo kokoa ary mampihena ny vidin'ny famokarana.
zavatra | Type | Mpitondra wafer laharana |
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 156 | 156-13 sambo grephite | 144 |
156-19 sambo grephite | 216 | |
156-21 sambo grephite | 240 | |
156-23 sambo grafita | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Ny andiany 125 | 125-15 sambo grephite | 196 |
125-19 sambo grephite | 252 | |
125-21 sambo grafite | 280 |