CVD Silicon Carbide Coated Graphite Ring

Famaritana fohy:

VET Energy silicon carbide coated graphite ring dia vokatra avo lenta natao hanomezana fampisehoana tsy miovaova sy azo itokisana mandritra ny fotoana maharitra. Izy io dia manana fanoherana hafanana tsara sy hafanana mafana, fahadiovana avo, fanoherana ny erosion, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra ho an'ny fampiharana fanodinana wafer.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

Toetra mahazatra amin'ny fitaovana grafita fototra:

Ny hakitroky hita maso:	1,85 g/cm3
Ny fanoherana elektrika:	11 μΩm
Henjana flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Hamafin'ny morontsiraka:	58
lavenona:	<5ppm
Thermal Conductivity:	116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃)

Manome singa susceptors sy graphite isan-karazany izahay ho an'ny reactors epitaxy amin'izao fotoana izao. Ny vokatray dia ahitana ireo susceptors barika ho an'ny vondrona LPE, susceptors pancake ho an'ny singa LPE, CSD, ary Gemini, ary susceptors tokana ho an'ny singa ampiasaina sy ASM.

Amin'ny fampifangaroana fiaraha-miasa matanjaka miaraka amin'ireo OEMs, ny fahaiza-manaon'ny fitaovana ary ny fahaiza-manao famokarana, ny veterinera dia manolotra ny endrika tsara indrindra ho an'ny fampiharana anao.

Ny sandan'ny anjara VET Energy nytena mpanamboatra ny vokatra vita amin'ny grafit sy silisiôma carbide miaraka amin'ny coating CVD,afaka mamatsyisan-karazanyampahany namboarina ho an'ny indostrian'ny semiconductor sy photovoltaic. ONy ekipa teknika dia avy amin'ny andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoaho anao.

Features ny vokatra:

1. Ny fanoherana ny oxidation amin'ny hafanana avo hatramin'ny 1700℃.
2. Avo fahadiovana syfanamiana mafana
3. Tena fanoherana harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.
4. Ny hamafin'ny avo, matevina ambonin'ny, poti tsara.
5. fiainana lava kokoa sy maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra amin'ny CVD SiCcoating
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra kristaly	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Hateza	3,21 g/cm³
硬度 / Hafàna	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Hafanana	640 kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperature Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Hery flexural	415 MPa RT 4 teboka
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt fiolahana, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana Thermal (CTE)	4.5×10^-6K^-1