Ny AdvancedSiC Cantilever Paddleho an'ny fanodinana Wafer noforonin'ny vet-china dia manome vahaolana tsara ho an'ny famokarana semiconductor. Ity paddle cantilever ity dia vita amin'ny fitaovana SiC (silicon carbide), ary ny hamafin'ny hafanana sy ny fanoherana ny hafanana dia ahafahany mitazona fampisehoana tsara amin'ny hafanana avo sy ny tontolo manimba. Ny famolavolana ny Cantilever Paddle dia mamela ny wafer ho azo ianteherana mandritra ny fanodinana, mampihena ny mety hisian'ny fizarazarana sy ny fahasimbana.
SiC Cantilever Paddledia singa manokana ampiasaina amin'ny fitaovana famokarana semiconductor toy ny lafaoro oxidation, lafaoro fanaparitahana, ary lafaoro annealing, ny tena fampiasa dia ny famenoana sy ny fandefasana ny wafer, ny fanohanana sy ny fitaterana ny wafers mandritra ny fizotran'ny hafanana.
Rafitra iombonananYsentocantileverpaddle: firafitry ny cantilever, miraikitra amin'ny tendrony iray ary malalaka amin'ny ilany iray, mazàna manana endrika fisaka sy fivoy.
Ny VET Energy dia mampiasa fitaovana karbida silisiôma vita amin'ny fahadiovana avo lenta mba hiantohana ny kalitao.
| Ny toetra ara-batana ny Recrystallized Silicon Carbide | |
| NY FANANANA | Sanda mahazatra |
| Temperature miasa (°C) | 1600 ° C (miaraka amin'ny oksizenina), 1700 ° C (mihena ny tontolo iainana) |
| votoatin'ny SiC | > 99.96% |
| Votoaty Si maimaim-poana | < 0,1% |
| hakitroky betsaka | 2.60-2.70 g/cm3 |
| Porosity hita maso | < 16% |
| Herin'ny famoretana | > 600MPa |
| Hery miforitra mangatsiaka | 80-90 MPa (20°C) |
| Hery miforitra mafana | 90-100 MPa (1400°C) |
| Fitrandrahana mafana @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Conductivity mafana @1200°C | 23W/m•K |
| Modulus elastika | 240 GPa |
| fanoherana ny fahatafintohinana mafana | Tena tsara |
Ny tombony amin'ny VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle ho an'ny fanodinana Wafer dia:
-Ny mari-pana ambony: azo ampiasaina amin'ny tontolo mihoatra ny 1600°C;
-Ny fatran'ny fanitarana hafanana ambany: mitazona ny fitoniana amin'ny habeny, mampihena ny loza ateraky ny fikorontanan'ny wafer;
-Hadio madio: ambany kokoa ny mety hisian'ny fandotoana metaly;
-Ny tsy fahampian'ny simika: mahatohitra ny harafesina, mety amin'ny tontolo iainana isan-karazany;
-Hery avo sy hamafin'ny: Wear-mahatohitra, fanompoana ela velona;
-Conductivity mafana tsara: manampy amin'ny fanamiana wafer fanafanana.
