Uzlabota SiC konsoles lāpstiņa vafeļu apstrādei

Īss apraksts:

Advanced SiC konsoles lāpstiņa vafeļu apstrādei, ko izlaidusi vet-china, izmanto augsto tehnoloģiju SiC materiālus, lai uzlabotu vafeļu apstrādes efektivitāti un precizitāti. Vet-china konsoles lāpstiņai ir lieliska karstumizturība un izturība pret koroziju, kas nodrošina stabilu vafeļu apstrādes veiktspēju skarbos ražošanas apstākļos, padarot to par ideālu izvēli ražošanas ražas uzlabošanai.


Produkta informācija

Produktu etiķetes

AdvancedSiC konsoles lāpstiņafor Wafer Processing, ko izveidoja vet-china, nodrošina lielisku risinājumu pusvadītāju ražošanai. Šī konsoles lāpstiņa ir izgatavota no SiC (silīcija karbīda) materiāla, un tā augstā cietība un karstumizturība ļauj tai saglabāt izcilu veiktspēju augstā temperatūrā un korozīvā vidē. Konsoles lāpstiņas dizains ļauj vafeles uzticami atbalstīt apstrādes laikā, samazinot sadrumstalošanās un bojājumu risku.

SiC konsoles lāpstiņair specializēts komponents, ko izmanto pusvadītāju ražošanas iekārtās, piemēram, oksidēšanas krāsnī, difūzijas krāsnī un rūdīšanas krāsnī, un to galvenokārt izmanto vafeļu iekraušanai un izkraušanai, vafeļu atbalstam un transportēšanai augstas temperatūras procesos.

Kopīgas struktūrasnoSiCcpretsvirappiedzen: konsoles konstrukcijai, kas fiksēta vienā galā un brīva otrā galā, parasti ir plakana un lāpstiņai līdzīga konstrukcija.

VET Energy izmanto augstas tīrības pakāpes pārkristalizētus silīcija karbīda materiālus, lai garantētu kvalitāti.

Pārkristalizēta silīcija karbīda fizikālās īpašības

Īpašums

Tipiskā vērtība

Darba temperatūra (°C)

1600°C (ar skābekli), 1700°C (reducējošā vide)

SiC saturs

> 99,96%

Bezmaksas Si saturs

< 0,1%

Tilpuma blīvums

2,60-2,70 g/cm3

Šķietamā porainība

< 16%

Saspiešanas spēks

> 600MPa

Aukstās lieces izturība

80-90 MPa (20°C)

Karstās lieces izturība

90–100 MPa (1400 °C)

Termiskā izplešanās @1500°C

4,70 10-6/°C

Siltumvadītspēja @1200°C

23W/m•K

Elastības modulis

240 GPa

Termiskā triecienizturība

Ārkārtīgi labi

VET Energy uzlabotās SiC konsoles lāpstiņas vafeļu apstrādei priekšrocības ir:

-Augstas temperatūras stabilitāte: lietojams vidēs virs 1600°C;

-Zems termiskās izplešanās koeficients: saglabā izmēru stabilitāti, samazinot vafeļu deformācijas risku;

-Augsta tīrība: mazāks metāla piesārņojuma risks;

-Ķīmiskā inerce: izturīgs pret koroziju, piemērots dažādām gāzes vidēm;

-Augsta izturība un cietība: nodilumizturīgs, ilgs kalpošanas laiks;

-Laba siltumvadītspēja: palīdz vienmērīgai vafeļu karsēšanai.

Konsoles lāpstiņa 10
Konsoles lāpstiņa 16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Iepriekšējais:
  • Nākamais:

  • WhatsApp tiešsaistes tērzēšana!