AdvancedSiC konsoles lāpstiņafor Wafer Processing, ko izveidoja vet-china, nodrošina lielisku risinājumu pusvadītāju ražošanai. Šī konsoles lāpstiņa ir izgatavota no SiC (silīcija karbīda) materiāla, un tā augstā cietība un karstumizturība ļauj tai saglabāt izcilu veiktspēju augstā temperatūrā un korozīvā vidē. Konsoles lāpstiņas dizains ļauj vafeles uzticami atbalstīt apstrādes laikā, samazinot sadrumstalošanās un bojājumu risku.
SiC konsoles lāpstiņair specializēts komponents, ko izmanto pusvadītāju ražošanas iekārtās, piemēram, oksidēšanas krāsnī, difūzijas krāsnī un rūdīšanas krāsnī, un to galvenokārt izmanto vafeļu iekraušanai un izkraušanai, vafeļu atbalstam un transportēšanai augstas temperatūras procesos.
Kopīgas struktūrasnoSiCcpretsvirappiedzen: konsoles konstrukcijai, kas fiksēta vienā galā un brīva otrā galā, parasti ir plakana un lāpstiņai līdzīga konstrukcija.
VET Energy izmanto augstas tīrības pakāpes pārkristalizētus silīcija karbīda materiālus, lai garantētu kvalitāti.
| Pārkristalizēta silīcija karbīda fizikālās īpašības | |
| Īpašums | Tipiskā vērtība |
| Darba temperatūra (°C) | 1600°C (ar skābekli), 1700°C (reducējošā vide) |
| SiC saturs | > 99,96% |
| Bezmaksas Si saturs | < 0,1% |
| Tilpuma blīvums | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Šķietamā porainība | < 16% |
| Saspiešanas spēks | > 600MPa |
| Aukstās lieces izturība | 80-90 MPa (20°C) |
| Karstās lieces izturība | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Termiskā izplešanās @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Siltumvadītspēja @1200°C | 23W/m•K |
| Elastības modulis | 240 GPa |
| Termiskā triecienizturība | Ārkārtīgi labi |
VET Energy uzlabotās SiC konsoles lāpstiņas priekšrocības vafeļu apstrādei ir šādas:
-Augstas temperatūras stabilitāte: lietojams vidēs virs 1600°C;
-Zems termiskās izplešanās koeficients: saglabā izmēru stabilitāti, samazinot vafeļu deformācijas risku;
-Augsta tīrība: mazāks metāla piesārņojuma risks;
-Ķīmiskā inerce: izturīgs pret koroziju, piemērots dažādām gāzes vidēm;
-Augsta izturība un cietība: nodilumizturīgs, ilgs kalpošanas laiks;
-Laba siltumvadītspēja: palīdz vienmērīgai vafeļu karsēšanai.
-
6 collu N tipa SiC vafele
-
Tantala karbīda pārklājums: nodilumizturīgs,...
-
24v ūdeņraža degvielas elementu Pemfc Stack 1000w hidrog...
-
Ūdeņraža enerģijas padeves elektroinstruments 220 W degvielas Cel...
-
Ūdeņraža degvielas šūnu 2000w Pemfc Stack 25v drons...
-
Pielāgoti augstas stiprības berzes C/C kompozītmateriāli (CFC)