Ķīnas ražotāja SiC pārklāts grafīta MOCVD epitaksijas susceptors

Ķīnas ražotāja SiC pārklāta grafīta MOCVD epitaksijas susceptora piedāvātais attēls

Īss apraksts:

Tīrība < 5ppm
‣ Laba dopinga vienveidība
‣ Augsts blīvums un adhēzija
‣ Laba pretkorozijas un oglekļa izturība

‣ Profesionāla pielāgošana
‣ Īss izpildes laiks
‣ Stabila piegāde
‣ Kvalitātes kontrole un nepārtraukta uzlabošana

GaN epitaksija uz Sapphire(RGB/Mini/Mikro LED);
GaN epitaksija uz Si substrāta(UVC);
GaN epitaksija uz Si substrāta(Elektroniskā ierīce);
Si epitaksija uz Si substrāta(Integrētā shēma);
SiC epitaksija uz SiC substrāta(Substrāts);
InP epitaksija uz InP

Nosūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produktu etiķetes

Augstas kvalitātes MOCVD Susceptor Iegādājieties tiešsaistē Ķīnā

Vafelei ir jāveic vairākas darbības, pirms tā ir gatava lietošanai elektroniskajās ierīcēs. Viens svarīgs process ir silīcija epitaksija, kurā vafeles tiek pārvadātas uz grafīta susceptoriem. Susceptoru īpašībām un kvalitātei ir izšķiroša ietekme uz vafeles epitaksiskā slāņa kvalitāti.

Plānās kārtiņas nogulsnēšanas fāzēm, piemēram, epitaksijai vai MOCVD, VET piegādā īpaši tīru grafīta aprīkojumu, ko izmanto substrātu vai "vafeles" atbalstam. Procesa pamatā šis aprīkojums, epitaksijas susceptori vai satelītu platformas MOCVD, vispirms tiek pakļautas nogulsnēšanās videi:

Augsta temperatūra.
Augsts vakuums.
Agresīvu gāzveida prekursoru izmantošana.
Nulles piesārņojums, pīlinga trūkums.
Izturība pret stiprām skābēm tīrīšanas darbību laikā

VET Energy ir īsts pielāgotu grafīta un silīcija karbīda izstrādājumu ražotājs ar pārklājumu pusvadītāju un fotoelementu rūpniecībai. Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm, kas var nodrošināt jums profesionālākus materiālu risinājumus.

Mēs nepārtraukti attīstām progresīvus procesus, lai nodrošinātu modernākus materiālus, un esam izstrādājuši ekskluzīvu patentētu tehnoloģiju, kas var padarīt pārklājuma un pamatnes savienojumu ciešāku un mazāk pakļautu atdalīšanai.

Mūsu produktu īpašības:

1. Augstas temperatūras oksidācijas izturība līdz 1700 ℃.
2. Augsta tīrība un termiskā vienmērība
3. Lieliska izturība pret koroziju: skābes, sārmi, sāls un organiskie reaģenti.
4. Augsta cietība, kompakta virsma, smalkas daļiņas.
5. Ilgāks kalpošanas laiks un izturīgāks

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC galvenās fizikālās īpašībaspārklājums
性质 / Īpašums	典型数值 / Tipiskā vērtība
晶体结构 / Kristālu struktūra	FCC β fāze多晶，主要为（111）取向
密度 / Blīvums	3,21 g/cm³
硬度 / Cietība	2500 维氏硬度 (500 g krava)
晶粒大小 / Graudu izmērs	2 ~ 10 μm
纯度 / Ķīmiskā tīrība	99,99995%
热容 / Siltuma jauda	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimācijas temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4 punktu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt līkums, 1300 ℃
导热系数 / ThermalVadītspēja	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termiskā izplešanās (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1