CVD silicio karbidu padengtas grafito žiedas

Trumpas aprašymas:

VET Energy silicio karbidu padengtas grafito žiedas yra didelio našumo gaminys, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.

Siųskite mums el Atsisiųsti kaip PDF

Produkto detalė

Produkto etiketės

Tipinės pagrindinės grafito medžiagos savybės:

Tariamas tankis:	1,85 g/cm3
Elektrinė varža:	11 μΩm
Lankstumo stiprumas:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Šoro kietumas:	58
Pelenai:	<5 ppm
Šilumos laidumas:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Mes tiekiame įvairius susceptorius ir grafito komponentus visiems dabartiniams epitaksiniams reaktoriams. Mūsų gaminiuose yra vamzdiniai susceptoriai, skirti LPE įrenginiams, blynų susceptoriai LPE, CSD ir Gemini vienetams, ir vienos plokštelės susceptoriai taikomiesiems ir ASM įrenginiams.

Derindamas tvirtą partnerystę su pirmaujančiais originalios įrangos gamintojais, medžiagų patirtį ir gamybos žinias, veterinaras siūlo optimalų dizainą jūsų pritaikymui.

VET Energy yra įtikras individualių grafito ir silicio karbido gaminių su CVD danga gamintojas,gali tiektiįvairiųpritaikytos puslaidininkių ir fotovoltinės pramonės dalys. OJūsų techninė komanda ateina iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti profesionalesnius medžiagų sprendimustau.

Fmūsų gaminių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700℃.
2. Didelio grynumo irterminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga
性质 / Turtas	典型数值 / Tipinė vertė
晶体结构 / Kristalinė struktūra	FCC β fazė多晶，主要为（111）取向
密度 / Tankis	3,21 g/cm³
硬度 / Kietumas	2500 维氏硬度 (500 g apkrova)
晶粒大小 / Grūdų dydis	2 ~ 10 μm
纯度 / Cheminis grynumas	99,99995 %
热容 / Šilumos talpa	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimacijos temperatūra	2700 ℃
抗弯强度 / Lanksčioji jėga	415 MPa RT 4 taškų
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
导热系数 / ThermalLaidumas	300 W · m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1