Pažangus SiC konsolinis irklas, skirtas plokštelių apdorojimui

Trumpas aprašymas:

„Vet-china“ išleistoje pažangioje SiC konsolinėje plokštelėje, skirtoje plokštelių apdorojimui, naudojamos aukštųjų technologijų SiC medžiagos, siekiant pagerinti plokštelių apdorojimo efektyvumą ir tikslumą. „Vet-china“ konsolinis irklas pasižymi puikiu atsparumu karščiui ir atsparumu korozijai, užtikrina stabilų plokštelių apdorojimą atšiauriomis gamybos sąlygomis, todėl tai yra idealus pasirinkimas norint padidinti produkcijos derlių.


Produkto detalė

Produkto etiketės

IšplėstinėSiC konsolinis irklasfor Wafer Processing sukurtas vet-china yra puikus sprendimas puslaidininkių gamybai. Šis konsolinis irklas yra pagamintas iš SiC (silicio karbido) medžiagos, o didelis kietumas ir atsparumas karščiui leidžia išlaikyti puikų veikimą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Konsolinės irklo konstrukcija leidžia patikimai palaikyti plokštelę apdorojimo metu, sumažinant suskaidymo ir pažeidimo riziką.

SiC konsolinis irklasyra specializuotas komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos įrangoje, pvz., oksidacijos krosnyje, difuzinėje krosnyje ir atkaitinimo krosnyje, pagrindinis naudojimas yra plokštelių pakrovimui ir iškrovimui, palaiko ir transportuoja plokšteles aukštos temperatūros procesuose.

Bendros struktūrosSiCcantisvertasppriedas: konsolė, viename gale pritvirtinta, o kitame laisva, paprastai yra plokščia ir panaši į irklas.

VET Energy naudoja didelio grynumo perkristalizuotą silicio karbidą, kad būtų užtikrinta kokybė.

Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės

Turtas

Tipinė vertė

Darbinė temperatūra (°C)

1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka)

SiC turinys

> 99,96 %

Nemokamas Si turinys

< 0,1 %

Tūrinis tankis

2,60-2,70 g/cm3

Tariamas poringumas

< 16 %

Suspaudimo stiprumas

> 600MPa

Šalto lenkimo stiprumas

80–90 MPa (20 °C)

Karštas lenkimo stiprumas

90–100 MPa (1400 °C)

Šiluminis plėtimasis @1500°C

4,70 10-6/°C

Šilumos laidumas @1200°C

23W/m•K

Tamprumo modulis

240 GPa

Atsparumas šiluminiam smūgiui

Be galo geras

„VET Energy“ pažangiosios SiC konsolinės mentelės, skirtos plokštelėms apdoroti, pranašumai yra šie:

-Aukštos temperatūros stabilumas: galima naudoti aplinkoje, aukštesnėje nei 1600°C temperatūroje;

-Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: išlaiko matmenų stabilumą, sumažina plokštelių deformacijos riziką;

-Aukštas grynumas: mažesnė metalo užteršimo rizika;

-Cheminis inertiškumas: atsparus korozijai, tinka įvairioms dujų aplinkoms;

- Didelis stiprumas ir kietumas: atsparus dilimui, ilgas tarnavimo laikas;

- Geras šilumos laidumas: padeda vienodai šildyti plokšteles.

Konsolinis irklas 10
Konsolinis irklas 16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!