IšplėstinėSiC konsolinis irklasfor Wafer Processing sukurtas vet-china yra puikus sprendimas puslaidininkių gamybai. Šis konsolinis irklas yra pagamintas iš SiC (silicio karbido) medžiagos, o didelis kietumas ir atsparumas karščiui leidžia išlaikyti puikų veikimą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Konsolinės irklo konstrukcija leidžia patikimai palaikyti plokštelę apdorojimo metu, sumažinant suskaidymo ir pažeidimo riziką.
SiC konsolinis irklasyra specializuotas komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos įrangoje, pvz., oksidacijos krosnyje, difuzinėje krosnyje ir atkaitinimo krosnyje, pagrindinis naudojimas yra plokštelių pakrovimui ir iškrovimui, palaiko ir transportuoja plokšteles aukštos temperatūros procesuose.
Bendros struktūrosišSiCcantisvertasppriedas: konsolė, viename gale pritvirtinta, o kitame laisva, paprastai yra plokščia ir panaši į irklas.
VET Energy naudoja didelio grynumo perkristalizuotą silicio karbidą, kad būtų užtikrinta kokybė.
| Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
| Turtas | Tipinė vertė |
| Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
| SiC turinys | > 99,96 % |
| Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
| Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tariamas poringumas | < 16 % |
| Suspaudimo stiprumas | > 600MPa |
| Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
| Stiprumas karštam lenkimui | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Šilumos laidumas @1200°C | 23W/m•K |
| Tamprumo modulis | 240 GPa |
| Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |
„VET Energy“ pažangiosios SiC konsolinės mentelės, skirtos plokštelėms apdoroti, pranašumai yra šie:
-Aukštos temperatūros stabilumas: galima naudoti aplinkoje, aukštesnėje nei 1600°C temperatūroje;
-Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: palaiko matmenų stabilumą, sumažina plokštelių deformacijos riziką;
-Aukštas grynumas: mažesnė metalo užteršimo rizika;
-Cheminis inertiškumas: atsparus korozijai, tinka įvairioms dujų aplinkoms;
- Didelis stiprumas ir kietumas: atsparus dilimui, ilgas tarnavimo laikas;
- Geras šilumos laidumas: padeda vienodai šildyti plokšteles.
-
6 colių N tipo SiC plokštelė
-
Tantalo karbido danga: atspari dilimui,...
-
24v vandenilio kuro elementas Pemfc Stack 1000w hidrog...
-
Vandenilio energijos tiekimo maitinimo įrankis 220 W kuro elementas...
-
Vandenilio kuro elementas 2000w Pemfc Stack 25v dronas...
-
Individualūs didelio stiprumo trinties C/C kompozitai (CFC)