Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer ຈາກ VET Energy ເປັນຊັ້ນຍ່ອຍທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງພະລັງງານແລະອຸປະກອນ RF ຮຸ່ນຕໍ່ໄປ. ພະລັງງານ VET ຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະ wafer epitaxial ແມ່ນຜະລິດຢ່າງພິຖີພິຖັນເພື່ອສະຫນອງການນໍາຄວາມຮ້ອນ, ແຮງດັນການທໍາລາຍ, ແລະການເຄື່ອນທີ່ຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຊັ່ນ: ຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ, ການສື່ສານ 5G, ແລະເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານປະສິດທິພາບສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

VET Energy silicon carbide (SiC) epitaxial wafer ເປັນອຸປະກອນ semiconductor bandgap ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຖີ່ສູງແລະຄຸນລັກສະນະພະລັງງານສູງ. ມັນເປັນ substrate ທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດໃຫມ່ຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ. ພະລັງງານ VET ໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ MOCVD epitaxial ຂັ້ນສູງເພື່ອຂະຫຍາຍຊັ້ນ SiC epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງເທິງຊັ້ນຍ່ອຍ SiC, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ດີເລີດແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ wafer.

Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer ຂອງພວກເຮົາໃຫ້ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ດີກັບວັດສະດຸ semiconductor ຫຼາກຫຼາຍຊະນິດລວມທັງ Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, ແລະ SiN Substrate. ດ້ວຍຊັ້ນ epitaxial ທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນ, ມັນສະຫນັບສະຫນູນຂະບວນການກ້າວຫນ້າເຊັ່ນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Epi Wafer ແລະການເຊື່ອມໂຍງກັບວັດສະດຸເຊັ່ນ Gallium Oxide Ga2O3 ແລະ AlN Wafer, ຮັບປະກັນການນໍາໃຊ້ທີ່ຫລາກຫລາຍໃນທົ່ວເຕັກໂນໂລຢີທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຫ້ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບລະບົບການຈັດການ Cassette ມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ, ມັນຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບແລະປັບປຸງໃນສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດ semiconductor.

ສາຍຜະລິດຕະພັນຂອງ VET Energy ບໍ່ຈໍາກັດພຽງແຕ່ SiC epitaxial wafers. ພວກເຮົາຍັງສະຫນອງອຸປະກອນຍ່ອຍ semiconductor ຫລາກຫລາຍ, ລວມທັງ Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, ແລະອື່ນໆ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຮົາຍັງພັດທະນາຢ່າງຫ້າວຫັນໃນການພັດທະນາວັດສະດຸ semiconductor bandgap ກວ້າງໃຫມ່ເຊັ່ນ Gallium Oxide Ga2O3 ແລະ AlN. Wafer, ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານໃນອະນາຄົດສໍາລັບອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຂຶ້ນ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຂອງ wafering

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating

ລາຍການ	8-ນິ້ວ	6-ນິ້ວ			4-ນິ້ວ
ລາຍການ	nP	ນ-ນ	n-ປ	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Bow(GF3YFCD)-ຄ່າຢ່າງແທ້ຈິງ	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2 ມມ
Wafer Edge	Beveling

ສໍາເລັດຮູບ

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating

ລາຍການ	8-ນິ້ວ	6-ນິ້ວ			4-ນິ້ວ
	nP	ນ-ນ	n-ປ	SI	SI
ສໍາເລັດຮູບ	ສອງດ້ານ Optical Polish, Si- Face CMP
ຄວາມຫຍາບຂອງຜິວໜ້າ	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm
ຊິບຂອບ	ບໍ່ໄດ້ຮັບອະນຸຍາດ (ຍາວແລະຄວາມກວ້າງ≥0.5mm)
ຫຍໍ້ໜ້າ	ບໍ່ອະນຸຍາດ
ຮອຍຂູດ (Si-Face)	Qty.≤5,ສະສົມ Length≤0.5×ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ wafer	Qty.≤5,ສະສົມ Length≤0.5×ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ wafer			Qty.≤5,ສະສົມ Length≤0.5×ເສັ້ນຜ່າສູນກາງ wafer
ຮອຍແຕກ	ບໍ່ອະນຸຍາດ
ການຍົກເວັ້ນຂອບ	3 ມມ