Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorເປັນອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນ ແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ອອກແບບມາສະເພາະທີ່ໃຊ້ໃນການຖື ແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງຊັ້ນຍ່ອຍຂອງເຊມິຄອນດັກເຕີໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຜະລິດເຊັ່ນ: ຂະບວນການ Deposition ຫຼື Epitaxy.
ໂຄງສ້າງຂອງມັນປະກອບມີໂດຍທົ່ວໄປເປັນຮູບທໍ່ກົມຫຼືຮູບຮ່າງຂອງຖັງເລັກນ້ອຍ, ດ້ານມີຖົງຫຼືເວທີຫຼາຍສໍາລັບການວາງ wafers, ສາມາດອອກແບບແຂງຫຼືເປັນຮູ, ຂຶ້ນກັບວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ.
ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງການ susceptor ຖັງ epitaxial:
-Substrate ສະຫນັບສະຫນູນ: ຢ່າງປອດໄພຖື wafers semiconductor ຫຼາຍ;
- ແຫຼ່ງຄວາມຮ້ອນ: ສະຫນອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໂດຍຜ່ານການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ;
-Temperature uniformity: ຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງ substrates;
- ພືດຫມູນວຽນ: ປົກກະຕິແລ້ວຫມຸນໃນໄລຍະການຂະຫຍາຍຕົວເພື່ອປັບປຸງອຸນຫະພູມແລະການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສເປັນເອກະພາບ.
ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງ Epi graphite barrel susceptor:
- ໃນ reactor epitaxial, susceptor ຖັງແມ່ນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບອຸນຫະພູມທີ່ກໍານົດໄວ້ (ປົກກະຕິແລ້ວ 1000℃-1200℃ ສໍາລັບຊິລິໂຄນ epitaxy);
-The barrel susceptor rotates ເພື່ອຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມເອກະພາບແລະການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ;
- ທາດປະຕິກິລິຍາເສື່ອມໂຊມໃນອຸນຫະພູມສູງ, ປະກອບເປັນຊັ້ນ epitaxial ເທິງພື້ນຜິວ substrate.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
- ຕົ້ນຕໍແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial ຊິລິໂຄນ
- ນອກຈາກນີ້ຍັງໃຊ້ໄດ້ກັບ epitaxy ຂອງວັດສະດຸ semiconductor ອື່ນໆເຊັ່ນ GaAs, InP, ແລະອື່ນໆ.
ພະລັງງານ VET ໃຊ້ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍການເຄືອບ CVD-SiC ເພື່ອເພີ່ມຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ:
ຂໍ້ດີຂອງ VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມສູງ;
- ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ;
- ສາມາດປຸງແຕ່ງ substrates ຫຼາຍພ້ອມໆກັນ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດ;
- ເຄມີ inert, ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຊີສູງສຸມໃສ່ການຜະລິດແລະການຂາຍອຸປະກອນການກ້າວຫນ້າທາງດ້ານສູງ, ວັດສະດຸແລະເຕັກໂນໂລຊີລວມທັງ graphite, silicon carbide, ceramics, ການປິ່ນປົວດ້ານເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ກາກບອນແກ້ວ. ການເຄືອບ, ການເຄືອບຄາບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, semiconductor, ພະລັງງານໃຫມ່, ໂລຫະ, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ແລະໄດ້ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດຫຼາຍຢ່າງເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ, ຍັງສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ເປັນມືອາຊີບໃຫ້ແກ່ລູກຄ້າ.
ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານຢ່າງອົບອຸ່ນທີ່ຈະໄປຢ້ຽມຢາມຫ້ອງທົດລອງແລະໂຮງງານຂອງພວກເຮົາສໍາລັບການສົນທະນາດ້ານວິຊາການແລະການຮ່ວມມື!
