CVD TaC ແຜ່ນ susceptor ເຄືອບ

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

VET Energy CVD TaC coated plate susceptor ແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ. ມັນມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer.


ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ໄດ້CVD TaC ເຄືອບPlate Susceptor ຈາກ vet-china ແມ່ນວິສະວະກໍາສໍາລັບຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. susceptor ນີ້ມີລັກສະນະທີ່ເຂັ້ມແຂງການເຄືອບ TaC (Tantalum Carbide)., ສະເຫນີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ແລະຄວາມທົນທານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ເຫມາະສົມກັບການຜະລິດ semiconductor ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ໄດ້ການເຄືອບ CVD TaCຮັບປະກັນຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ການຜຸພັງແລະການສວມໃສ່, ເຮັດໃຫ້ susceptor ຮັກສາຄວາມສົມບູນແລະການເຮັດວຽກຂອງມັນຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.

ສັດຕະວະແພດຈີນCVD TaC ເຄືອບPlate Susceptor ໂດດເດັ່ນສໍາລັບຄວາມສາມາດໃນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນຂະບວນການ CVD, ຮັບປະກັນການແບ່ງຊັ້ນທີ່ຊັດເຈນແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງການຜະລິດ semiconductor. ການເຄືອບ Ta-C ສະຫນອງການປົກປ້ອງເພີ່ມເຕີມຕໍ່ກັບການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ຍືດອາຍຸຂອງ susceptor ແລະປັບປຸງການປະຕິບັດໂດຍລວມ. ດ້ວຍການປະສົມປະສານຂອງເທກໂນໂລຍີ susceptor CVD ຂັ້ນສູງແລະການເຄືອບສານເຄມີ TaC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, susceptor ນີ້ແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ບໍ່ວ່າຈະເປັນການນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດຂອງ semiconductors ຫຼືຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຕັກໂນໂລຊີສູງອື່ນໆ, ໄດ້CVD TaC Coated Plate Susceptorໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການຜະລິດທີ່ທັນສະໄຫມ. ໄດ້ຮັບການສະຫນັບສະຫນູນຈາກຊື່ສຽງຂອງ Semicera ສໍາລັບນະວັດກໍາແລະຄຸນນະພາບ, ຜະລິດຕະພັນນີ້ສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ເຫນືອກວ່າແລະຄວາມທົນທານທີ່ຍາວນານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບຂະບວນການ CVD.

ການເຄືອບ TaC ແມ່ນປະເພດຂອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ກະກຽມໂດຍເຕັກໂນໂລຊີການປ່ອຍອາຍພິດທາງກາຍະພາບ, ມັນມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ຄວາມແຂງສູງ: ຄວາມແຂງຂອງເຄືອບ TaC ແມ່ນສູງ, ປົກກະຕິແລ້ວສາມາດບັນລຸ 2500-3000HV, ເປັນການເຄືອບແຂງທີ່ດີເລີດ.

2. ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່: ການເຄືອບ TaC ແມ່ນທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ຫຼາຍ, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ແລະຄວາມເສຍຫາຍຂອງຊິ້ນສ່ວນກົນຈັກໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບໃນລະຫວ່າງການໃຊ້.

3. ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີ: ການເຄືອບ TaC ຍັງສາມາດຮັກສາປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງ.

4. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີ: ການເຄືອບ TaC ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີແລະສາມາດຕ້ານການປະຕິກິລິຍາເຄມີຫຼາຍເຊັ່ນອາຊິດແລະຖານ.

ການເຄືອບ TaC13
ການເຄືອບ TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ ທາຄ ການເຄືອບ

密度/ ຄວາມຫນາແຫນ້ນ

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / ການປ່ອຍອາຍພິດສະເພາະ

0.3

热膨胀系数 / ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນ

6.3 10-6/K

努氏硬度/ ຄວາມແຂງ (HK)

2000 HK

电阻 / ການຕໍ່ຕ້ານ

1×10-5 ໂອມ*ຊມ

热稳定性 / ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ

<2500℃

石墨尺寸变化 / ການປ່ຽນແປງຂະຫນາດຂອງ Graphite

-10~20 ນ

涂层厚度 / ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ

≥20um ຄ່າປົກກະຕິ (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ເປັນວິສາຫະກິດເຕັກໂນໂລຊີສູງສຸມໃສ່ການຜະລິດແລະການຂາຍອຸປະກອນການກ້າວຫນ້າທາງດ້ານສູງ, ວັດສະດຸແລະເຕັກໂນໂລຊີກວມເອົາ graphite, silicon carbide, ceramics, ການປິ່ນປົວດ້ານແລະອື່ນໆ. ຜະລິດຕະພັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, semiconductor, ພະລັງງານໃຫມ່, ໂລຫະ, ແລະອື່ນໆ.

ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!