ວົງແຫວນ Graphite ເຄືອບ CVD Silicon Carbide

CVD Silicon Carbide Coated Graphite Ring ຮູບພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

VET Energy silicon carbide coated graphite ring ເປັນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະເວລາຂະຫຍາຍ. ມັນມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປຂອງວັດສະດຸ Graphite ພື້ນຖານ:

ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ປາກົດ:	1.85 g/cm3
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ:	11 μΩm
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
ຄວາມແຂງຂອງຝັ່ງ:	58
ຂີ້ເທົ່າ:	<5ppm
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

ພວກເຮົາສະຫນອງອຸປະກອນ susceptors ຕ່າງໆແລະອົງປະກອບ graphite ສໍາລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ epitaxy ໃນປັດຈຸບັນທັງຫມົດ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາປະກອບມີສານກັນບູດຖັງສໍາລັບຫນ່ວຍ LPE, ຕົວອ່ອນຂອງ pancake ສໍາລັບ LPE, CSD, ແລະ Gemini ຫນ່ວຍ, ແລະ susceptors ດຽວ wafer ສໍາລັບຫນ່ວຍບໍລິການນໍາໃຊ້ແລະ ASM.

ໂດຍການສົມທົບການເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບ OEMs ຊັ້ນນໍາ, ຄວາມຊໍານານດ້ານວັດສະດຸແລະຄວາມຮູ້ການຜະລິດ, vet ສະເຫນີການອອກແບບທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທ່ານ.

ພະລັງງານ VET ແມ່ນ ໄດ້ຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ມີການເຄືອບ CVD,ສາມາດສະຫນອງຕ່າງໆພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບ semiconductor ແລະອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic. Oທີມງານດ້ານວິຊາການ ur ມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

Fອາຫານຂອງຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາ:

1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1700℃.
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ
3. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ: ອາຊິດ, alkali, ເກືອແລະ reagents ອິນຊີ.
4. ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກລະອຽດ.
5. ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະທົນທານຫຼາຍ

CVD SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ
性质 / ຊັບສິນ	典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ
晶体结构 / ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β多晶，主要为（111) 取向
密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	3.21 g/cm³
硬度 / ຄວາມແຂງ	2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g)
晶粒大小 / ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
热容 / ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg^-1· ຄ^-1
升华温度 / ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
抗弯强度 / ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
杨氏模量 / Modulus ຂອງຫນຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
导热系数 / ຄວາມຮ້ອນລການນໍາ	300W·m^-1· ຄ^-1
热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10^-6K^-1