CVD Silicon Carbide Beschichtete GRAPHITE Ring

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy Silicon Carbide Beschichtete Grafitring ass en High-Performance Produkt entwéckelt fir konsequent an zouverlässeg Leeschtung iwwer eng verlängert Period ze bidden. Et huet super gutt Hëtzt Resistenz an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet, Erosioun Resistenz, mécht et déi perfekt Léisung fir wafer Veraarbechtung Uwendungen.

Schéckt E-Mail un eis Download als PDF

Produit Detailer

Produit Tags

Typesch Eegeschafte vum Base Graphite Material:

Scheinbar Dicht:	1,85 g/cm3
Elektresch Resistenz:	11 μΩm
Flexural Stäerkt:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore Hardness:	58
Äsche:	<5 ppm
Thermesch Konduktivitéit:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Mir liwweren verschidde susceptors a graphite Komponente fir all aktuell epitaxy reactors. Eis Produkter enthalen Barrel susceptors fir LPE Unitéiten, pancake susceptors fir LPE, CSD, an Gemini Unitéiten, an Single-wafer susceptors fir applizéiert an ASM Unitéiten.

Andeems Dir staark Partnerschafte mat féierende OEMs kombinéiere, Materialexpertise a Fabrikatiounsknowhow, bitt de Vet den optimalen Design fir Är Uwendung.

VET Energy ass denrealen Hiersteller vu personaliséierte Graphit a Siliziumkarbidprodukter mat CVD Beschichtung,liwweren kënnenverschiddepersonaliséiert Deeler fir Hallefleit- a Photovoltaikindustrie. OÄr technesch Equipe kënnt aus Top Gewalt Fuerschung Institutiounen, kann méi professionell Material Léisungen biddenfir dech.

FEatures vun eise Produkter:

1. Héich Temperatur Oxidatioun Resistenz bis 1700℃.
2. Héich Rengheet anthermesch Uniformitéit
3. Exzellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenz.
4. Héich Hardness, kompakt Uewerfläch, fein Partikel.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis kierperlech Eegeschafte vun CVD SiCBeschichtung
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesch Wäert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向
密度 / Dicht	3,21 g/cm³
硬度 / Hardness	2500 维氏硬度（500g Belaaschtung）
晶粒大小 / Grain Gréisst	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemesch Rengheet	99,99995%
热容 / Hëtzt Kapazitéit	640 jkg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatioun Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Kraaft	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt Béi, 1300 ℃
导热系数 / ThermlKonduktivitéit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansioun (CTE)	4,5x10^-6K^-1