PersonnaliséiertenGraphite Heizung fir Semiconductor Silicon Wafer
Technesch Spezifizéierung | VET-M3 |
Bulk Dicht (g/cm3) | ≥1,85 |
Ash Inhalt (PPM) | ≤500 |
Shore Hardness | ≥45 |
Spezifesch Resistenz (μ.Ω.m) | ≤12 |
Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
Kompressiv Kraaft (Mpa) | ≥70 |
Max. Kärgréisst (μm) | ≤43 |
Thermesch Expansiounskoeffizient Mm/°C | ≤4,4*10-6
|