PECVD жүктөөчү лотокту жайгаштыруу Graphite лоток

Кыска сүрөттөмө:

VET Energy компаниясынын PECVD жүктөө лотогу тундурма процессинин ырааттуулугун жана сапатын жакшыртуу үчүн пластинкаларды коюу учурунда коопсуз жана бир калыпта колдоо көрсөтүү үчүн иштелип чыккан. Эң сонун жылуулукка туруктуулугу менен Graphite лоток PECVD камераларынын ичинде башкарылуучу чөйрөнү сактоого жардам берет, булгануу коркунучун азайтат жана процесстин жогорку натыйжалуулугун камсыз кылат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

VET Energy PECVD жүктөөчү лоток - бул PECVD (плазманын жакшыртылган химиялык буу катмары) процесси үчүн иштелип чыккан так ташуучу. Бул жогорку сапаттагы графит лоток жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит материалынан жасалган. Бул мыкты жогорку температура каршылык, коррозияга туруктуулук, өлчөмдүү туруктуулук жана башка мүнөздөмөлөргө ээ. Бул PECVD процесси үчүн туруктуу алып жүрүүчү платформаны камсыздай алат жана пленка катмарынын бирдейлигин жана тегиздигин камсыздай алат.

VET Energy PECVD жүктөө лотоктору жарым өткөргүч, фотоэлектрдик, LED жана башка тармактарда кеңири колдонулат. Мисалы:

▪ Жарым өткөргүч: кремний пластиналары жана эпитаксиалдык пластиналар сыяктуу жарым өткөргүч материалдар үчүн PECVD процесси.

▪ Фотоэлектрдик: Күн батареясынын жука пленкалар үчүн PECVD процесси.

▪ LED: LED чиптери үчүн PECVD процесси.

Продукциянын артыкчылыктары

▪Тасманын сапатын жакшыртуу:Бир калыпта пленка коюуну камсыз кылуу жана пленканын сапатын жакшыртуу.

▪Жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартуу:Мыкты коррозияга туруктуулук, PECVD жабдууларынын кызмат мөөнөтүн узартуу.

▪өндүрүштүк чыгымдарды азайтуу:Жогорку сапаттагы графит лотоктор сыныктарын азайтат жана өндүрүштүк чыгымдарды азайтат.

SGLден алынган графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Нарк	бирдиги
Орточо дан өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Массалык тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ачык көзөнөктүүлүк	DIN66133	10	%
Орто тешикче өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөргүчтүк	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell катуулук HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылык	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ийилүүчү күч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термикалык кеңейүү (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүк (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Бул атайын G12 чоң өлчөмдөгү пластинкасын иштетүүнү колдогон, жогорку эффективдүү күн батареяларын өндүрүү үчүн иштелип чыккан. Оптималдаштырылган ташуучу конструкциясы өткөрүү жөндөмдүүлүгүн кыйла жогорулатып, кирешелүүлүктүн жогорулашына жана өндүрүштүк чыгымдардын төмөндөшүнө шарт түзөт.

пункт	Түр	Номер вафли ташуучу
PEVCD Grephite кайык - 156 сериясы	156-13 грефит кайык	144
	156-19 грефит кайык	216
	156-21 грефит кайык	240
	156-23 графит кайык	308
PEVCD Grephite кайык - 125 сериясы	125-15 грефит кайык	196
	125-19 грефит кайык	252
	125-21 грфит кайык	280