PECVD Graphite Wafer колдоо

PECVD Graphite Wafer Support Featured Image

Кыска сүрөттөмө:

Тактык жана аткаруу үчүн иштелип чыккан VET Energy компаниясынын Graphite Wafer Support - жогорку жылуулук туруктуулугу жана ырааттуу аткаруу маанилүү болгон пластинкаларды өркүндөтүлгөн иштетүүдө колдонуу үчүн идеалдуу материал. Жарым өткөргүч пластиналар же башка назик субстраттар менен иштеп жатасызбы, бул жогорку сапаттагы графит колдоо процессиңиздин ишенимдүүлүгүн жана продуктунун сапатын жогорулатып, аны заманбап өндүрүш үчүн алмаштырылгыс компонентке айлантат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

VET Energy PECVD процессинин графит пластинкасын колдоо PECVD (плазмада жакшыртылган химиялык бууларды жайгаштыруу) процесси үчүн иштелип чыккан негизги чыгымдалуучу материал. Бул продукт жогорку тазалык, жогорку тыгыздыктагы графит материалдан жасалган, мыкты жогорку температура каршылык, коррозияга туруктуулук, өлчөмдүү туруктуулук жана башка мүнөздөмөлөрү менен, PECVD жараяны үчүн туруктуу колдоо аянтчаны камсыз кыла алат, пленка катмарынын бирдейлигин жана тегиздигин камсыз кылуу.

VET Energy графит пластинкасынын колдоосунун "графит колдоосу" дизайны вафлиди натыйжалуу колдоого гана эмес, процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн жогорку температурада жана жогорку басымдагы PECVD чөйрөсүндө жылуулук туруктуулугун камсыздай алат.

VET Energy PECVD процессинин графит пластинкасы төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:

▪Жогорку тазалык:өтө төмөн ыпластык мазмуну, тасманын булганышына жол бербөө, тасманын сапатын камсыз кылуу.

▪Жогорку тыгыздык:жогорку тыгыздык, жогорку механикалык күч, жогорку температура жана жогорку басым PECVD чөйрөгө туруштук бере алат.

▪Жакшы өлчөмдүү туруктуулук:процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн жогорку температурада кичинекей өлчөмдүү өзгөрүүлөр.

▪Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк:вафли ысып кетүүсүнө жол бербөө үчүн жылуулукту эффективдүү өткөрүп берүү.

▪Күчтүү коррозияга каршылык:Ар кандай жегич газдардын жана плазманын эрозиясына туруштук бере алат.

▪Ыңгайлаштырылган кызмат:Ар кандай өлчөмдөгү жана формадагы Graphite колдоо үстөлдөрүн кардарлардын муктаждыктарына ылайыкташтырса болот.

SGLден алынган графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Нарк	бирдиги
Орточо дан өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Массалык тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ачык көзөнөктүүлүк	DIN66133	10	%
Орто тешикче өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөргүчтүк	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell катуулук HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылык	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ийилүүчү күч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термикалык кеңейүү (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүк (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Бул атайын G12 чоң өлчөмдөгү пластинкасын иштетүүнү колдогон, жогорку эффективдүү күн батареяларын өндүрүү үчүн иштелип чыккан. Оптималдаштырылган ташуучу конструкциясы өткөрүү жөндөмдүүлүгүн кыйла жогорулатып, кирешелүүлүктүн жогорулашына жана өндүрүштүк чыгымдардын төмөндөшүнө шарт түзөт.

пункт	Түр	Номер вафли ташуучу
PEVCD Grephite кайык - 156 сериясы	156-13 грефит кайык	144
	156-19 грефит кайык	216
	156-21 грефит кайык	240
	156-23 графит кайык	308
PEVCD Grephite кайык - 125 сериясы	125-15 грефит кайык	196
	125-19 грефит кайык	252
	125-21 грфит кайык	280