CVD (Химиялык буу туташтыруу) кремний карбид жабууну даярдоо үчүн көп колдонулган ыкма болуп саналат.CVD кремний карбид каптоокөптөгөн уникалдуу аткаруу өзгөчөлүктөрү бар. Бул макалада CVD кремний карбид каптоо даярдоо ыкмасы жана анын аткаруу мүнөздөмөлөрү менен тааныштырат.
1. Даярдоо ыкмасыCVD кремний карбид каптоо
CVD ыкмасы газ түрүндөгү прекурсорлорду жогорку температуралык шарттарда катуу кремний карбид каптоосуна айлантат. ар кандай газ прекурсорлор боюнча, ал газ фазасы CVD жана суюк фаза CVD бөлүүгө болот.
1. Буу фазасы CVD
Буу фазасы CVD кремний карбид пленкаларынын өсүшүнө жетүү үчүн газ түрүндөгү прекурсорлорду, адатта кремний органикалык бирикмелерин колдонот. Көбүнчө колдонулган кремнийорганикалык бирикмелерге метилсилан, диметилсилан, моносилан ж. Реакция камерасындагы жогорку температуралык аймактар, адатта, индукциялык жылытуу же резистивдүү жылытуу аркылуу пайда болот.
2. Суюк фаза CVD
Суюк фазадагы CVD суюк прекурсорду, адатта кремнийди жана силанолду камтыган органикалык эриткичти колдонот, ал реакция камерасында ысытылат жана бууланат, андан кийин химиялык реакция аркылуу субстратта кремний карбид пленкасы пайда болот.
2. аткаруу мүнөздөмөлөрүCVD кремний карбид каптоо
1.Excellent жогорку температура аткаруу
CVD кремний карбид каптоомыкты жогорку температура туруктуулугун жана кычкылданууга каршылык сунуш. Ал жогорку температуралуу шарттарда иштөөгө жөндөмдүү жана жогорку температурада экстремалдык шарттарга туруштук бере алат.
2.Good механикалык касиеттери
CVD кремний карбид каптоожогорку катуулук жана жакшы эскирүү каршылык бар. Ал металл субстраттарды эскирүүдөн жана коррозиядан коргоп, материалдын кызмат мөөнөтүн узартат.
3. Мыкты химиялык туруктуулук
CVD кремний карбид каптоокислоталар, щелочтор жана туздар сыяктуу кеңири таралган химиялык заттарга өтө туруктуу. Ал химиялык чабуулга жана субстраттын коррозиясына каршы турат.
4. Төмөн сүрүлүү коэффициенти
CVD кремний карбид каптооаз сүрүлүү коэффициенти жана жакшы өзүн-өзү майлоочу касиетке ээ. Ал сүрүлүүнү жана эскирүүнү азайтат жана материалды колдонуунун натыйжалуулугун жогорулатат.
5.Good жылуулук өткөрүмдүүлүк
CVD кремний карбид каптоо жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк касиетке ээ. Ал тез жылуулукту өткөрө алат жана металл базасынын жылуулук таркатуунун натыйжалуулугун жакшыртат.
6.Excellent электр жылуулоо касиеттери
CVD кремний карбид каптоо жакшы электр изоляциялык касиетке ээ жана учурдагы агып кетүүнүн алдын алат. Ал электрондук аппараттардын изоляциясын коргоодо кеңири колдонулат.
7. Жөндөлүүчү жоондугу жана курамы
CVD процессиндеги шарттарды жана прекурсордун концентрациясын көзөмөлдөө менен кремний карбид пленкасынын калыңдыгын жана курамын жөнгө салууга болот. Бул ар кандай колдонмолор үчүн көптөгөн мүмкүнчүлүктөрдү жана ийкемдүүлүктү камсыз кылат.
Кыскача айтканда, CVD кремний карбид каптоо мыкты жогорку температура аткаруу, мыкты механикалык касиеттери, жакшы химиялык туруктуулук, төмөн сүрүлүү коэффициенти, жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк жана электр изоляциялык касиеттерге ээ. Бул касиеттери CVD кремний карбидинин каптоолорун көптөгөн тармактарда, анын ичинде электроника, оптика, аэрокосмостук, химиялык өнөр жай ж.
Посттун убактысы: 20-март-2024